판매용 중고 SAMCO UV-300HC #9379073

SAMCO UV-300HC는 플라즈마 에칭 및 애싱 공정을 위해 특별히 설계된 에처 및 애셔입니다. 하이테크 (high-tech) 제품으로, 고속으로 작동하고 고품질 최종 결과를 제공하도록 개발됐다. 이 제품은 실리콘, 세라믹 등 다양한 웨이퍼를 수용하도록 설계되었습니다. 챔버 자체는 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 만들어졌으며, 내부 열 교환기 (Heat Exchanger) 로 설계되어 열 증강을 방지하고 공정의 신뢰성을 보장합니다. UV-300HC에는 대용량 터보 펌프와 함께 고출력 진공이 장착되어 있습니다. 따라서 고압 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 에 적용 가능하므로 오염을 최소화하면서 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 자외선에 노출 된 후 웨이퍼를 빠르게 식힐 수있는 고급 칠러 시스템 (Advanced Chiller System) 을 사용합니다. 이 시스템에는 정확한 온도 조절을 위한 PID 온도 컨트롤러도 포함되어 있습니다. SAMCO UV-300HC는 프로세스를 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있는 고해상도 컬러 LCD 화면을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 또한 사용자가 매개변수를 조정하고, 프로그램 설정을 변경할 수 있도록 프로그래밍 가능한 단계가 포함되어 있습니다. 따라서 사용자의 요구 사항에 따라 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. UV-300HC (UV-300HC) 는 고급 기술을 활용하여 빠른 응답 시간을 제공하고 플라즈마 에칭 및 애싱 프로세스의 정확성을 보장합니다. 이 장치는 최대 250A/cm2의 에칭 레이트와 최대 100A/cm2의 애싱 레이트를 제공 할 수 있습니다. 또한 RF 발전기가 400 개 내장되어 있습니다.