판매용 중고 SAMCO UV-300 #9185106

SAMCO UV-300
제조사
SAMCO
모델
UV-300
ID: 9185106
UV Ozone dry stripper.
SAMCO UV-300은 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공하도록 설계된 최첨단 etcher/asher입니다. 소형 설계 (compact design) 와 유연한 매개변수 (flexible parameter) 를 통해 다양한 응용 프로그램의 기판을 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 효율적인 에칭 프로세스는 SAMCO 독점 기술과 결합 된 강력한 355nm UV LED에 의존합니다. SAMCO UV 300의 전원은 12V DC이고 변조는 전압 롤오프 (roll-off) 옵션을 사용하여 조정할 수 있습니다. 최대 전력에서 UV-300은 약 100 mJ/cm2의 UV 조도를 제공 할 수 있습니다. 조도는 10 단계 노브 조정을 사용하여 0에서 150mJ/cm2로 조정할 수 있습니다. 에칭 프로세스는 터치 패널에 있는 사용이 간편한 소프트웨어를 통해 제어됩니다. 소프트웨어에는 에칭 깊이, 노출 시간, UV 광도, 회전 속도 및 냉각 온도를 포함한 여러 프로세스 매개 변수가 있습니다. 터치 패널을 사용하여 미리 프로그래밍된 에칭 템플릿에서 선택하거나, 수동으로 사용자 정의 프로세스 설정을 입력할 수 있습니다. UV 300은 지름 12 인치 (30cm) 의 기판 마스크가있는 12x7 인치 (18x45cm) 챔버를 특징으로하여 빛이 노출 된 기판을 직접 충돌하지 못하게합니다. 마스크는 마이크로 에칭 목적으로 최대 8 높이 위치를 조정할 수 있습니다. 애셔는 또한 최대 5 RPM의 조정 가능한 속도로 회전하는 서브 드라이브를 특징으로합니다. 기판 회전은 정확한 에칭을 보장하기 위해 3 개의 다른 센서로 제어됩니다. SAMCO UV-300은 통합 안전 인터 록 (Safety Interlock) 및 가스 배기 시스템을 통해 최대한의 안전을 위해 설계되었습니다. 온보드 비활성 가스 전달 시스템은 또한 다른 에칭 요구 사항에 대해 캐리어, 옥시 가스 및 기타 가스를 공급할 수 있습니다. 에칭 프로세스의 각 단계를 모니터링하고 로그로 기록하여 정확한 결과를 확인합니다. 전반적으로 SAMCO UV 300은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 제공하여 다양한 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. 간편한 사용자 인터페이스, 강력한 UV 광원 (Light Source) 및 조절 가능한 매개변수를 통해 효율적이고 안전한 에칭을 통해 언제나 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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