판매용 중고 SAMCO RIE-331iPC #293607298
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
SAMCO RIE-331iPC는 산화물 필름, 실리콘, 금속 및 유리와 같은 재료의 정밀 에칭 및 애싱을 위해 특별히 설계된 드라이 에칭/애싱 장비입니다. 이 기계 는 "가스 '소비량 이 낮은 안전 하고 깨끗 한 공정 을 마련 하면서 정확 하고, 반복 할 수 있는 결과 를 제공 하도록 설계 되었다. 이 시스템은 RF 발전기와 2 개의 독립적 인 플라즈마 소스를 사용하며, 각각 최대 200 와트의 전력을 공급하여 효율적이고 경제적인 프로세스를 만듭니다. 이 장치는 안전 밸브 (Safety Valve), 안전 가스 차단 (Safety Gas Shut-off), 자동 대피 및 기타 기능을 갖춘 종합적인 안전 기계를 통해 사용자의 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 는 저압 공정을 보장하여 작동하기에 안전한 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 추가 (in-situ) 프로세스 모니터링 (process monitoring) 기능을 사용하면 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 프로세스 설정을 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 또한 다양한 가스 구성 (Gas Configuration) 과 광범위한 프로세스 압력 수준 (Process Pressure Level) 을 통해 유연성이 뛰어나며, 사용자가 에치 (Etched) 또는 애쉬 (Ashed) 된 재료에 맞게 프로세스를 조정할 수 있습니다. 이 기계에는 통합 된 자동 가스 믹싱 에셋이 있으며, 이는 단상 및 다상 에칭을 모두 허용합니다. 이 모델을 사용하면 프로세스 제어 (process control) 를 높일 수 있으므로 사용자가 에칭 프로세스를 정확하게 프로그래밍할 수 있습니다. 이 장비에는 진공 웨이퍼 전송 시스템 (vacuum wafer transmission system) 도 포함되어 있어 프로세스 실행 중에 사용자가 안전하게, 신속하게 웨이퍼를 변경할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 자동 에치 레이트 보상, 정보 자동 요청, 자동 가스 레시피 프로그래밍, 프로세스 자동 모니터링 및 제어 등 더욱 다양하고 효율적인 기능을 제공합니다. 또한 RIE-331iPC 는 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 를 제공하여, 사용자가 사용자의 입력을 최소화하면서 쉽고 직관적인 방식으로 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있도록 합니다. 요약하면, SAMCO RIE-331iPC는 고급이지만 비용 효율적인 에칭/애싱 머신으로, 사용자 안전과 프로세스를 깨끗하게 유지하면서 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 피쳐의 범위는 공구를 매우 유연하고 효율적이며, 고급 사용자 인터페이스는 프로세스를 간단하고 번거롭게 제어하고 모니터링합니다.
아직 리뷰가 없습니다