판매용 중고 SAMCO RIE-300NR #9236887

SAMCO RIE-300NR
제조사
SAMCO
모델
RIE-300NR
ID: 9236887
Reactive Ion Etching (RIE) system.
SAMCO RIE-300NR etcher/asher는 유리, 스테인레스 스틸, 소프트 메탈 및 플라스틱을 포함한 다양한 재료를 에칭/재싱하도록 설계된 고성능 에칭 및 애싱 시스템입니다. 삼코 리에 300 NR (SAMCO RIE 300 NR) 은 듀얼 챔버 디자인으로 설계되어 에칭 프로세스와 애싱 프로세스 모두에 사용할 수 있습니다. 상방 에는 "에칭 '용 전극 이 있고 하실 에는" 애싱' 용 전극 이 들어 있다. 에칭 챔버 (etching chamber) 는 에치 매개변수에 대한 정확한 제어를 보장하는 유전체 절연과 에치 프로세스를 깨끗하게 유지하는 진공 시스템 (vacuum system) 을 특징으로합니다. 애싱 히터 챔버의 온도 범위는 최대 450 ° C이며, 이는 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 또한 RIE-300NR (Full Touch Screen User Interface) 기능을 통해 운영 및 모니터링이 간편하며, 나중에 사용할 수 있도록 레시피와 매개변수를 만들고 저장할 수 있습니다. 이 인터페이스는 또한 여러 안전 (safety) 기능을 제공하여 에칭 (etching) 프로세스 동안 조작자가 위험한 재료에 노출되지 않도록 합니다. RIE 300 NR의 에치 균일 성과 속도도 인상적이며, 반복 가능한 균일 성 (+/- 0.5äm) 으로 시간당 최대 300 개의 웨이퍼를 생산합니다. 또한 VDE-8 유전체 (옵션) HV 에치 챔버 (etch chamber) 를 사용하여 공정을 확장하여 에치/애쉬 할 수있는 재료 유형과 크기의 범위를 확장할 수 있습니다. 마지막으로, SAMCO RIE-300NR은 많은 도량형 시스템과 호환되므로 사용자는 웨이퍼에서 빠르고, 정확하고, 측정 된 데이터를 얻을 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 레시피를 신속하게 조정하고, 일관성 있는 품질 (Quality) 부품을 일관되게 생산할 수 있습니다. 전반적으로, SAMCO RIE 300 NR은 강력하고 신뢰할 수있는 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 생산률이 높고 균일성이 정확한 다양한 재료에 대한 완전한 에칭 솔루션을 제공합니다. 도량형 시스템 (Metrology Systems) 과의 손쉬운 운영 및 호환성을 통해 모든 제조 또는 연구 중심의 실험실을 위한 완벽한 솔루션이 될 수 있습니다.
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