판매용 중고 SAMCO RIE-300NR #9234636

SAMCO RIE-300NR은 집적 회로 (IC) 생산, 마이크로 전자 및 관련 응용 분야에 사용하도록 설계된 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 신뢰할 수 있고 정밀한 화학 에칭 및 다양한 기질의 재싱을 제공합니다. SAMCO RIE 300 NR은 카세트 스타일의 에칭 및 애싱 챔버에 4 "~ 12" (100mm ~ 300mm) 웨이퍼의 범위를 수용 할 수 있습니다. 이것은 RIE-300NR의 부동 단계 및 자동 밸브 제어에 의해 촉진됩니다. 챔버 (chamber) 환경은 가스 흐름을 정확하게 조정하도록 특별히 설계된 내장 플로우미터 장치 (flowmeter unit) 에 의해 제어됩니다. RIE 300 NR은 광범위한 에치 및 애싱 조건을 처리 할 수 있습니다. CF4, SF6, NF3, CDA 및 Oxygen과 같은 가스를 사용하여 알루미늄, 텅스텐, 폴리 실리콘, 석영 및 기타 반도체 재료의 에칭 및 해시 테스트를 거쳤습니다. 이 기계는 최대 660 ° C의 높은 온도와 최대 -100 ° C의 영하 온도에서 작동하도록 설계되었습니다. 이것은 액체 질소를 통한 도구의 내장 냉각 기능으로 촉진됩니다. SAMCO RIE-300NR에는 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 최적으로 제어하도록 설계된 고급 소프트웨어 제어 자산이 장착되어 있습니다. 이를 통해 모델에 자동 레시피 제어 (Automated Recipe Control) 를 통합하여 보다 효율적이고 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 만들 수 있습니다. 이 고급 소프트웨어 제어 장비를 사용하면 프로그래밍 가능한 셔터가 청결 표준을 충족 할 수 있습니다. 또한, SAMCO RIE 300 NR은 깨끗한 공정 챔버 분위기를 보장하도록 설계된 내장 진공 펌프 및 환기 시스템을 자랑합니다. 이 장치는 10-6 Torr 미만의 진공 수준을 달성 할 수 있다고합니다. 이는 오염없이 지속적인 운영을 보장합니다. 이 기계는 산업 등급 부품 (industrial grade components) 을 사용하여 제작되며, 실험실 환경에서 에칭 및 애싱 프로세스의 엄격한 조건을 처리하도록 설계되었습니다. 또한 RIE-300NR 은 다양한 모니터링 안전 (Safety) 기능을 제공하므로 사용자 및 환경을 안전하게 보호할 수 있습니다. RIE 300 NR Etching and Ashing Tool은 집적 회로 생산을 위해 안정적이고 정확한 에칭 및 애싱 솔루션입니다. 광범위한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건을 처리하고 자동화된 소프트웨어 제어 및 10-6 Torr 진공 수준을 제공합니다. 삼코 리이-300NR (SAMCO RIE-300NR) 은 산업 등급 구성 요소 및 안전 기능을 통해 실험실 응용을위한 안정적이고 안전한 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다.