판매용 중고 SAMCO RIE-10NL #9112580

SAMCO RIE-10NL은 마이크로 전자 및 MEMS 장치의 생산을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 소형 장치의 고밀도 (high-density) 생산을 지원하도록 설계되었으며, 직경과 높이가 최대 200mm 인 대형 작업 봉투가 특징입니다. RIE-10NL의 컴팩트한 디자인과 이식성은 공간이 제한된 생산 환경에 적합합니다. SAMCO RIE-10NL에는 양극 및 음극 스퍼터링을 지원하는 스퍼터 모듈 (Sputter Module) 이 포함되어 있으므로 여러 마스크 단계를 거치지 않고 빠른 에칭이 가능합니다. 이 장치는 또한 큰 오픈 소스 챔버 (Open Source Chamber) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 장치를 재정렬하지 않고도 모든 각도에서 기판을 액세스하고 조작할 수 있습니다. 운영 체제는 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 에 의해 제어되며, 이 장치는 사용자 친화적이며 사용하기 쉽습니다. 또한 가변 압력 운영 체제 (variable pressure operating system) 를 사용하여 에칭 응용 프로그램에 대한 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 이렇게 하면 에치 (etch) 프로세스가 균일하고 정확한 결과를 생성하므로 컴포넌트의 수율이 증가합니다. 또한, 이 장치에는 이중 챔버 난방 (dual-chamber heating) 및 냉각 기능이 장착되어 있어 일정한 압력을 유지하면서 더 높은 온도에 도달하고 더 높은 에치 레이트를 허용합니다. RIE-10NL은 에칭 프로세스 전, 중, 후에 웨이퍼를 정확하게 검사하기 위해 고해상도 디지털 이미징 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 결함을 방지하고 제품 수율을 최대화하기 위해 에칭 (etching) 프로세스의 불일치를 파악하고 신속하게 해결할 수 있습니다. SAMCO RIE-10NL은 현대 제조 공정의 요구를 충족하도록 설계된 안정적이고 효율적인 etcher/asher입니다. 유연성이 뛰어난 설계와 고급 (Advanced) 기능을 통해 빠르고 경제적인 방식으로 고품질 구성 요소를 생산할 수 있습니다.