판매용 중고 SAMCO PD-3800 #9181347
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삼코 PD-3800 (SAMCO PD-3800) 은 정밀 에칭과 높은 처리율을 제공하는 고급 다기능 에칭 및 애싱 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer), 인쇄 회로 기판 (printed circuit board), 금속 포일 (metal foil) 등 다양한 샘플 재료를 처리 할 수 있습니다. PD-3800 은 고급 코플라나 에칭 (etching) 기술을 통해 깊이가 다른 박막을 정확하게 에칭할 수 있습니다. 또한 균일 한 에칭 및 정확한 에치 프로세스 제어를 위해 고급 플라즈마 소스 기술을 갖추고 있습니다. 중량 드라이브 모터는 추가 안정성을 추가하고 정확한 움직임을 보장합니다. SAMCO PD-3800의 통합 플라즈마 시스템은 뛰어난 균질성과 반복성을 갖춘 고품질 에칭을 제공합니다. 다양한 응용프로그램을 위한 다양한 에칭 옵션과 다양한 프로세스 가스 (process gase) 및 에칭 (etching) 조건이 있습니다. 이 장치의 자동 기계 제어, 프로세스 최적화, 진단은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건을 세밀하게 조정합니다. 불균일 한 에칭을 감지 할 수 있으며, 자동 정렬 및 프로그래밍 가능한 레시피 스토리지와 같은 온보드 스마트 기능이 있습니다. 또한 PD-3800 은 로드 포트와 통합되어 샘플을 자동으로 로드/언로드할 수 있습니다. 또한 에칭에 대한 청결 인증도 제공합니다. 안전 기능 측면에서 SAMCO PD-3800에는 내장 압력 및 온도 센서, 긴급 전원 끄기 (Emergency Power Off) 및 자동 도구 종료 기능이 있습니다. 또한 안전성 및 프로세스 안정성 향상을 위해 완전한 프로세스 제어를 제공합니다. 전반적으로, PD-3800은 효율적이고 정밀한 에칭/애싱 (etching/ashing) 자산으로, 안정적인 성능과 높은 처리율을 제공합니다. 통합 모델 제어, 안전 (Safety) 기능 및 프로세스 최적화를 통해, 정밀 에칭에 이상적인 솔루션입니다.
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