판매용 중고 SAMCO PD-2400L #9292386

제조사
SAMCO
모델
PD-2400L
ID: 9292386
PECVD System.
SAMCO PD-2400L은 금속, 유리, 도자기 및 반도체와 같은 기판 재료에서 정확한 에칭 및 애싱을 제공하도록 설계된 정밀 애셔/에처입니다. 이 디자인은 동력 리프트 장비, 통합 오일-증기 목욕 시스템 및 오염을 줄이는 이중 벽 진공실을 통합했습니다. 동력 리프트 장치 (motorized lift unit) 는 미리 정의 된 에치 프로그램 (etch program) 에서 기질의 정확한 수직 이동을 보장하며, 각 사이클에서 반복 가능한 결과를 제공합니다. 통합 오일-증기 목욕 기계는 2 개의 부품, 즉 오일 증발기와 오일 증기 용기로 구성됩니다. 오일 증발기는 에칭 과정에서 기질에 존재했을 수있는 나머지 휘발성 유기 화합물 (VOC) 을 제거하는 데 사용된다. 그런 다음 증기는 추가 분석을 위해 오일 증기 용기에 수집됩니다. 이중벽 진공 챔버 (double-walled vacuum chamber) 는 낮은 수준의 산소 및 비활성 가스를 깨끗하게 제공하여 에칭 과정에서 오염이 발생하지 않습니다. PD-2400L에는 에칭 프로세스의 정확한 제어를 위한 PLC (programmable logic controller), 디지털 온도 컨트롤러, 디지털 압력 게이지, 정확하고 반복 가능한 에칭을위한 디지털 타이머 등 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 도구에는 레이저 가이드 에칭 챔버 도어 (eching chamber door) 가 제공되어 에칭 프로세스 동안 기판에 쉽게 액세스하고 정확하게 볼 수 있습니다. SAMCO PD-2400L에는 핫 및 콜드 레이저 프로브, 온도 센서, 액체 레벨 센서, 압력 센서, 로드/힘 센서 등 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 이 센서 배열은 다른 유골/에처 (asher/etcher) 에 의해 일치하지 않는 자동 및 정밀도 수준을 허용합니다. 또한 PD-2400L 에는 가스 조절기, 과압 탐지기, 충격 탐지기, 진공 연동 자산 등 다양한 안전 기능이 있어 에칭 프로세스 (etching process) 와 관련된 인력의 안전을 보장합니다. 또한, SAMCO PD-2400L은 환경 친화적으로 설계되어 낮은 소음 수준 및 VOC (Volatile Organic Compound) 수준을 방출하며, 규제 표준보다 상당히 낮습니다. 이 모델은 에너지 효율성이 높고, 안정성이 높아, 높은 생산성을 보장합니다. 전반적으로, PD-2400L (PD-2400L) 은 다양한 기판 재료에서 정확한 에칭 및 애싱을 제공하도록 설계된 고도의 에처/애셔입니다. 동력 리프트 장비, 통합 오일-증기 목욕 시스템, 이중 벽 진공 챔버 (double-walled vacuum chamber) 는 깨끗하고 오염 없는 환경을 제공하는 반면, 광범위한 센서 및 안전 기능은 안전하고 정확한 에칭 프로세스를 보장합니다. 또한, 낮은 소음 및 VOC 수준은 환경 친화적 인 단위인지 확인하는 데 도움이됩니다.
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