판매용 중고 SAMCO PD-2400 #9238331
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SAMCO PD-2400은 다양한 전문 에칭 응용 프로그램에 사용되는 고급 반자동 배치 에처/애셔입니다. 이 고성능 장비는 소형 부품 (small part) 에서 대형 패널 (large panel) 까지 다양한 기판을 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 맞춤형 PD-2400은 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하기 위해 저진공 (low-vacuum) 기술을 갖춘 독특한 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 직관적인 터치스크린 사용자 인터페이스는 모든 etching 프로세스에 대한 설정 및 제어가 용이합니다. 삼코 (SAMCO) PD-2400에는 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하는 혁신적인 전기 공압 밸브 시스템이 장착되어 있습니다. 펄스 에처/애셔 (pulse etcher/asher) 는 10-1000 미크론 범위까지 재료를 에치 할 수 있으며 0 초에서 999 초까지 정확한 노출 제어를 제공합니다. 빠른 응답 밸브 장치를 사용하면 배치 (batch) 에서 배치 (batch) 로 재현가능한 결과를 얻을 수 있습니다. PD-2400 챔버는 에칭 및 애싱 프로세스 중 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 산 내성 스테인레스 스틸 챔버 바디, 고진공 등급 뚜껑과 부식 내성 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 로 구성됩니다. 이 기계에는 통합 스트로크 챔버 설계, 강력한 공압 리프트 메커니즘, 위치 구성 요소 및 4 선 가열 도구가 있습니다. SAMCO PD-2400에는 안전 온/오프 (Safety On/Off) 스위치, 비상 정지 버튼, 환기 자산, 통합 보호망 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 사용자 프로그래밍 가능한 안전 매개변수 및 테스트 기능도 있습니다. 이 장비는 현재 안전 표준을 준수하도록 설계되었으며 UL, CSA 및 CE 표준 인증을 받았습니다. PD-2400에는 프로세스 모니터, 미세 메쉬 패널, 스테인리스 스틸 샘플 및 참조 홀더, 손쉬운 액세스, 스테인리스 스틸 필터레이션 시스템, 진공 밸브, 압력 조절기, 빠른 분리 어댑터 등 다양한 액세서리가 탑재되어 있습니다. 이 장치는 2 년 보증으로 지원되며 공랭식 열 교환기, 자동 기판 처리 (automated substrate processing), 대기 제어 장치 (atmospheric control machine) 와 같은 옵션 기능을 포함하도록 업그레이드 할 수 있습니다.
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