판매용 중고 SAMCO PD-200D #9048861

SAMCO PD-200D etcher/asher는 다양한 실험실 및 제조 응용 분야에 사용하도록 설계된 정밀 에칭/애싱 기계입니다. 그것 은 유리, "실리콘 ', 금속 및" 플라스틱' 을 포함 한 여러 가지 물질 을 정확 하게 에칭 하거나 부착 할 수 있다. 에처/애셔 (Etcher/asher) 는 유도 결합 플라즈마 소스를 사용하여 고에너지 반응성 이온과 기판을 빠르고 정확하게 에치 또는 재로 생성 한 가스를 사용하여 고급 디자인을 사용합니다. 기계는 외부 알루미늄 다이 캐스트 인클로저로 구성된 단단한 프레임 워크로 제작되었습니다. 가장 큰 정확도와 제어를 위해 챔버 (chamber) 의 내부는 0.5 미크론 (micron) 의 평탄도 사양으로 정확하게 가공됩니다. 챔버에는 임피던스 매칭, 고속 진공 펌프 및 진공선이 장착되어 안정적이고 반복 가능한 작동이 가능합니다. 이 기계는 또한 다양한 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 플라스마는 아날로그/디지털 미터 (analog/digital meter) 를 사용하여 진폭과 주파수 모두에서 조정 가능한 PID 루프에 의해 제어됩니다. 에칭 챔버 (etching chamber) 내부에 위치한 기판 홀더는 기울기 (tilt) 와 회전 (rotation) 각도에 맞게 조정할 수 있으며, 사용자정의된 에칭을 위해 다양한 모양과 크기를 수용할 수 있습니다. 이 장치에는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 의 정확한 타이밍을위한 컴퓨터 제어 타이머가 있으며, 조절 가능한 간격은 최대 999 분입니다. etcher/asher의 최대 공정 온도는 섭씨 200도이며 압력 범위는 0.1-25 torr입니다. 최대 24 "x 24" 기판을 처리 할 수 있으며 분당 최대 11cm 제곱의 에칭/애싱 속도를 달성 할 수 있습니다. 공정 온도 (process temper), 압력 (pressure) 및 진공 수준 제어 (vacuum level control) 를 사용하면 에칭/애싱 시간을 최소한으로 유지할 수도 있습니다. PD-200D etcher/asher는 실험실 또는 제조 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 설계된 기능이있는 기계입니다. 정밀도 (Precision) 와 제어 (Control) 의 조합으로 광범위한 재료를 에칭 및 재싱하기에 이상적인 선택이됩니다.