판매용 중고 SAMCO PC-1100 #293802272

삼코 PC-1100 (SAMCO PC-1100) 은 반도체 산업의 고급 마이크로 제작 프로세스를 위해 설계된 에칭 및 애싱 머신입니다. 첨단 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능, 높은 처리율, 높은 수준의 정확성 및 반복성, 정교한 제어 장비를 통해 광범위한 디바이스 구성 프로세스를 선택할 수 있습니다. 이 기계의 중심부에는 화학 증기 증착 (CVD), 혈장 강화 화학 증착 (PECVD), 전자 사이클로트론 공명 (ECR), 마그네트론 스퍼터링 및 습식 에칭을 포함하여 광범위한 에치 및 애싱 기술을 지원할 수있는 특허 에치 헤드가 있습니다. 에치 헤드에는 균일 한 에칭 및/또는 애싱 (ashing) 을 돕기 위해 적절한 히터가 장착되어 있습니다. PC-1100에서 에치 헤드의 설정 및 사용은 제공된 5 축 단계, 자동 초점 내비게이션 시스템 (autofocus navigation system) 의 현미경 및 온보드 토크 발전기에 의해 더욱 촉진됩니다. 삼코 PC-1100 (SAMCO PC-1100) 은 50 nm 정도의 작은 크기의 구조와 기능을 에치 (etch) 할 수 있으므로 최소 시간 내에 정확한 목표 제작을 용이하게합니다. 특허를받은 Easy Setup Wizard (Easy Setup Wizard) 는 타겟의 etch 매개 변수를 쉽게 프로그래밍하여 설계자가 쉽게 장치 구조를 신속하게 제작할 수 있도록 합니다. 기계는 또한 높은 수준의 반복성으로 에치 (etch) 하도록 프로그래밍 될 수 있으며, 원하는 장치 특성을 달성하기 위해 여러 주기의 에칭 (etching) 이 필요하지 않습니다. PC-1100 또한 에칭 (etching) 과정에서 기판 및 챔버 온도를 모두 제어하기위한 다중 영역 온도 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 또한, 멀티 존 (multi-zone) 컨트롤러는 고급 에칭 (etch) 애플리케이션에 중요한 에치 슬로프를 제어하기 위한 미세 튜닝 기능도 제공합니다. 삼코 PC-1100 (SAMCO PC-1100) 은 또한 고압 물 감지 도구, 비활성 가스 제어 자산, 챔버 압력 모니터링 모델, 진공 모니터링 장비 등 다양한 안전 기능을 지원하여 운영자 안전 및 장비 보호를 보장합니다. 결국, PC-1100 은 고급 기술로 제작된 고급 에칭 및 애싱 머신으로, 처리 속도, 높은 제조 정확도, 반복성을 제공합니다. 이 제품은 복잡하고 복잡한 장치 구조를 제작할 수 있는 안정적이고 간편한 방법을 제공하므로, 복잡한 반도체 (semiconductor) 장치 애플리케이션에 적합합니다.