판매용 중고 SAMCO FA-1 #9279755

SAMCO FA-1
제조사
SAMCO
모델
FA-1
ID: 9279755
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
Etcher, 6" 1996 vintage.
SAMCO FA-1은 우수한 기판 청소 및 코팅 제거를 위해 설계된 완전 자동화 에칭 및 애싱 머신입니다. 저온 산화 및 에칭/애싱 (etching/ashing) 방법을 사용하는 2 단계 청소 프로세스를 사용하여 우수한 기질 청소 및 코팅 제거를 제공합니다. 산화 공정 은 고주파, 저전력 전류 를 사용 하여 기질 의 표면 에 균일 한 "옥사이드 '층 을 만든다. 이어서, 에칭/애싱 공정 은 진공 작동 "플라즈마 '원 의 고온 고압" 플라즈마' 의 "제트 '를 이용 하여 산화 에 의해 생성 된 산화물 층 을 제거 함 으로써 작용 한다. 이 방법 은 표면 에 도달 하기 가 가장 어려운 "산화물 '을 제거 하는 데 매우 효과적 이다. FA-1은 최대 1000 ° C의 온도에서 평면 및 비 평면 기질 모두에서 에칭/애싱 할 수 있습니다. 온도 범위는 0 ° C ~ 1000 ° C이며 주기 시간은 20, 40, 60 또는 80 분입니다. 이 시스템은 또한 -1000 ~ 1000 mbar의 가변 에칭/애싱 압력 범위를 제공하며, 이는 SAMCO FA-1이 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 이상적입니다. FA-1의 챔버 크기는 60mmx480mm이며, 크기가 다른 기질의 에칭 및 재싱을위한 충분한 공간을 제공합니다. SAMCO FA-1은 우수한 기판 청소 및 코팅 제거를 제공하는 빠르고 효과적인 에칭/애싱 솔루션입니다. 에너지 효율성이 높은 반면, 최고의 제품 성능, 안전 표준 (Safety Standard) 과 함께 작동하는, 신뢰성 있고 자동화된 시스템입니다. FA-1은 기판 청소 및 코팅 제거가 필요한 모든 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다