판매용 중고 RAMCO RAM8500-II #293625753

RAMCO RAM8500-II는 반도체 생산을위한 고급 에처이자 애셔입니다. 고급 반도체 공정 기술을 활용하여 빠르고 안정적인 에칭, 애싱, 스트리핑 프로세스를 구현합니다. 이 기계는 최고의 유연성 (Flexibility) 을 제공하도록 설계되었으며, 운영 요구 사항에 맞게 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. RAM8500-II는 대용량 생산 라인을 위해 시간당 최대 250 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 에피 택시 실리콘, 벌크 사이 (bulk Si) 및 다이아몬드 기판을 포함한 다양한 웨이퍼 크기와 기판과 호환됩니다. 또한 자가 모니터링, 다중 인터 록 (multiple interlock), 유해 가스 탐지 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 기계는 4 개의 로드 록 시스템을 포함하는 단일 자체 포함 플래튼 어셈블리로 설계되었습니다. 이것 은 "플래튼 '표면 전체 에 걸쳐 일관성 있는 온도 를 유지 시켜, 기계 가 가장 민감 한 기질 까지도 안정적 으로 처리 할 수 있게 한다. 플래튼 어셈블리에는 독립적 인 온도 영역과 빠른 난방 및 냉각 속도가 있습니다. RAMCO RAM8500-II는 이온화 된 가스 에칭, 반응성 이온 에칭 및 플라즈마 애싱 (plasma ashing) 과 같은 다양한 고급 에칭 및 애싱 기술을 사용합니다. 이러한 유연성을 통해 처리 매개변수를 세밀하게 조정하여 최적의 기판 선택성과 처리량을 얻을 수 있습니다. 또한 RAM8500-II에는 누수 (leak-forward) 시스템이 내장되어 있어 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 하향 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 시간이 지남에 따라 반복 가능하고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. RAMCO RAM8500-II는 프로세스 최적화를 위한 다양한 구성 요소 (예: 정밀 시간 관리를위한 프로그래밍 가능한 타임베이스, 고품질 마스킹 및 신속한 열 처리 용 라미네이션 소스, 짧은 회로 및 호출 방지 (isolation module)) 를 제공합니다. 또한, 이 시스템은 다양한 자동 로드/언로드 시스템과 호환되며, 직관적이고, 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있습니다. RAM8500-II는 빠르고, 안정적이며, 반복 가능한 생산을 위해 설계된 고성능 에처 및 애셔입니다. 첨단 프로세스 기술, 자체 내장형 온도 조절 플래튼 (platen) 어셈블리, 강력한 안전 기능의 통합으로 반도체 생산 환경에 이상적인 선택이 됩니다.