판매용 중고 RAMCO RAM8500-II #293625752

RAMCO RAM8500-II Asher/Etcher는 우수한 성능, 탁월한 유연성 및 뛰어난 제어성을 제공하는 고성능 플라즈마 처리 장비입니다. 이 장치는 새로운 통합 제어 시스템 (Integrated Control System) 과 함께 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 기능을 제공합니다. 그것 은 여러 가지 박막 과 두꺼운 "필름 '에서 정확 한" 에칭' 과 "애싱 '기능 을 수행 할 수 있다. RAM8500-II는 향상된 플라즈마 소스 및 처리 모드를 사용하여 높은 균일 에칭, 클리닝 및 애싱 작업을 생성합니다. 통합 제어 장치 및 처리 매개 변수는 프로세스의 전반적인 일관성과 정확성을 향상시킵니다. 최첨단 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 연산자는 처리 매개변수를 빠르고 쉽게 입력 할 수 있습니다. 또한, 복잡한 에칭, 애싱 및 클리닝 시퀀스를 자동으로 실행하도록 장치를 프로그래밍 할 수 있습니다. RAMCO RAM8500-II는 에칭 또는 애싱 모드에서 다양한 가스를 실행할 수 있습니다. 에칭 및 애싱 공정의 경우 RAM8500-II는 다양한 부식 및 산화 에칭 및 애싱 반응 (예: F2, O2, N2 및 Ar) 에서 박막을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 비활성 비활성 가스 (예: Ar, He 및 N2) 로 에칭, 청소 및 애싱 작업을 수행 할 수도 있습니다. RAMCO RAM8500-II (RAMCO RAM8500-II) 는 다양한 처리 기능을 제공하여 사용자가 기판 및 애플리케이션 요구 사항에 따라 프로세스를 조정할 수 있도록 합니다. 통합 제어 머신 (Integrated Control Machine) 및 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 를 사용하면 플라즈마 처리 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으므로 프로세스 제어 및 반복 가능성을 높일 수 있습니다. 이 장치는 격리 에칭, STI (Shallow Trench Isolation) 에칭, 저항 스트리핑 및 애싱, MLM (Multi-Layer Metal) 에칭 및 재싱과 같은 광범위한 박막 에칭 및 애싱 작업에 사용할 수 있습니다. RAM8500-II Asher/Etcher는 일련의 박막 에칭 및 애싱 시스템 중에서 가장 큰 측정 정확도와 제어를 제공합니다. 향상된 플라즈마 소스 (Plasma Source) 및 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 를 통해 사용자는 에칭/애싱 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 높은 정확성과 반복성을 통해 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 결과적으로 RAMCO RAM8500-II는 다양한 박막 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 적합합니다.