판매용 중고 RAMCO RAM8500-II #293625751

RAMCO RAM8500-II Asher/Etcher는 완전 자동화 된 플라즈마 에칭 및 애싱 장비입니다. 연구 및 생산 라인 요구에 적합합니다. 이 시스템은 금속, 유전체를 포함한 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램 (etching and ashing application) 을 위해 설계되었습니다. 레이저 제어 애싱 공정 (laser-controlled ashing process) 은 펄스 레이저 빔을 사용하여 기판의 내부 표면에서 재료를 절제합니다. 팽창 챔버 (expansion chamber) 는 플라즈마를 함유하는 데 사용되며, 이는 물질을 절제하는 데 사용 가능한 에너지의 양을 증가시키고 공정의 반복성을 향상시킨다. 이 단위로, 박막 레이어는 일반적으로 에치 (ech) 될 수 있으며, 기존의 습식 (wet) 에칭으로 가능한 것보다 정밀도가 더 빠릅니다. 단일 챔버 머신에는 고밀도 플라즈마를 생성하기위한 전자기적으로 결합 된 유도 코일이 포함되어 있습니다. 이 "플라즈마 '는 재료 속 으로 50nm 를 침투 하여" 에칭' 과 "애싱 '과정 에서 높은 정도 의 정확도 를 갖게 한다. 이 도구는 또한 컴퓨터 제어 프로세스 모니터링 자산 (bist-in computer-controlled process monitoring asset) 을 사용하여 최적의 플라즈마 매개변수 및 프로세스 수율을 보장하는 실시간 피드백을 사용자에게 제공합니다. 이 모델에는 완벽하게 자동화된 프로세스 제어 (Process Control) 가 있으며, 이 기능에는 사용자 친화적인 인터페이스와 간편한 모니터링 및 작동을 위한 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 가 포함되어 있습니다. 인체 공학적으로 설계된 컨트롤 콘솔은 벽면, 책상, 테이블 등에 장착하여 편리하게 액세스할 수 있습니다. RAM8500-II에는 최고의 공압 클램핑 어셈블리가 장착되어 웨이퍼를 안전하게 배치합니다. 가드 (Guard) 가 통합된 장비는 작동 중에 챔버 (Chamber) 에 액세스하지 못함으로써 최대한의 안전을 보장합니다. 이 시스템은 또한 시스템 작동을 최적 성능 수준으로 유지하기 위한 강력한 진단 및 유지보수 장치 (maintenance unit) 를 갖춘 반면, RF 생성기는 최대 2.5MHz의 고속 에칭을 지원합니다. RAMCO RAM8500-II는 에칭, 애싱 및 기타 재료 처리 응용 프로그램을위한 매우 효율적이고 정확한 도구입니다. 사용자 지정 애플리케이션에도 이 툴을 구성할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 디자인과 고급 기능을 갖춘 RAM8500-II Asher/Etcher는 연구 및 생산 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.