판매용 중고 RAMCO RAM-8500Z #9158963

RAMCO RAM-8500Z
제조사
RAMCO
모델
RAM-8500Z
ID: 9158963
웨이퍼 크기: 8"
Plasma ashers, 8" Batch type.
RAMCO RAM-8500Z는 실험실 및 연구 응용프로그램을 위한 높은 처리량과 성능을 위해 설계된 etcher/asher 장비입니다. 광범위한 에칭 및 애싱 솔루션을 사용하여 이미징, 에칭 및 재싱을 위해 설계된 8 인치 platen etcher/asher입니다. 여기에는 프로그래밍 가능한 에칭 속도, 유연한 에칭 시퀀스 및 레시피 생성, 습식 (wet) 및 건식 애싱 (dry ashing) 간 전환 기능, 식각 속도 상승 및 감소 기능이 포함됩니다. 8 인치 플래튼이 장착 된 고속 직류 (DC) 에처/애셔이며 조정 가능한 플래튼 온도는 -30 ° ~ + 500 ° C입니다. 또한 제어판 (Control Panel) 을 사용하여 온도를 모니터링하고 에칭 매개변수를 설정할 수 있습니다. 최대 에칭 속도는 300nm/sec이며 가변 에칭 시간은 0-999 초입니다. RAMCO RAM 8500Z는 금속, SiO2, 석영, 반도체 및 기타 재료를 포함한 다양한 기판을 에칭하고 부착 할 수 있습니다. 정교한 에칭 및 애싱 컨트롤은 다른 기판에서 에치 레이트와 균일 한 에칭/애싱 (etch/ashing) 을 정확하게 제어합니다. 이 시스템은 또한 조정 가능한 마스킹 핀을 갖추고 있어 정확하고 반복 가능한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 보장합니다. RAM-8500Z는 설치와 작동이 간편한 안정적이고 반복 가능한 에칭 및 애싱 (eching) 작업을 위해 설계되었습니다. 장기간 안정적인 운영 및 최소한의 유지 보수 (maintenance) 요구 사항으로 유지 관리가 용이합니다. 이 장치는 또한 무연기 (smoke-free operation) 를 제공하여 실험실 환경의 안전을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 RAM 8500Z에는 다중 단계 etch 루틴 및 etch 속도 모니터링과 같은 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 이 기계는 또한 데이터를 저장하고 전송할 수 있게 해 주며, 이를 통해 에치 (etch) 조건과 결과를 테스트하고 분석할 수 있습니다. RAMCO RAM-8500Z는 또한 고속 연결 마운팅을 갖추고 있으며, 서로 다른 시스템 간의 데이터 전송을 지원합니다. 전반적으로 RAMCO RAM 8500Z는 높은 처리량, 정확하고 반복 가능한 에칭 기능을 갖춘 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 로 실험실 및 연구 응용 프로그램에 이상적인 에칭 솔루션입니다. 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 통해 안정적이고 사용하기 쉽고 유지 관리할 수 있습니다.
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