판매용 중고 RAMCO Ram 5 #62126

RAMCO Ram 5는 반도체 산업에 사용되는 최첨단 에칭 및 애싱 머신입니다. ICS, MEMS 및 기타 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 구성 요소와 같은 섬세한 구성 요소를 에칭 및 재싱하는 데 사용되는 견고하고, 빠르고, 정확한 도구입니다. 램 5 (Ram 5) 는 업타임, 정확성 및 반복성의 최대한으로 동급 최고의 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다. RAMCO Ram 5는 최대 10 "x 14" 의 부품을 처리하기위한 자동 로드 및 언로드 메커니즘을 갖추고 있습니다. 주 챔버에는 최대 8 "x12" 부품의로드 및 언로드하는 데 사용 가능한 볼륨이 증가했습니다. 이 장비는 최대 10 Torr의 공정 압력으로 최대 400ß C의 온도에서 작동하도록 설계되었습니다. 비활성 대기가 필요한 응용에 사용할 수있는 질소 가스 옵션이 있습니다. 또한, RF 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 통해 수율을 증가시키기 위해 에치 및 애쉬 프로파일을 독립적으로 최적화할 수 있습니다. Ram 5 (Ram 5) 에는 수동 및 자동 작동을 제공하는 터치 스크린 디스플레이가 장착 된 강력한 프로세스 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 최대 250 단계로 최대 10 개의 레시피를 저장할 수 있으며 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. 컨트롤러는 또한 PC 연결 집적 회로 테스터와 자동 도량형 (automated metrology) 을 지원하여 반복 가능한 에치 및 애싱 결과를 정확하게 처리 할 수 있습니다. 공정 가스 전달 시스템 (process gas delivery system) 은 정확한 작동을 보장하며 반복 가능한 에치 및 재 결과를 초래합니다. 또한 온도, 압력, 유속 일정성을 유지하기 위해 통합 된 고급 디지털 프로세스 제어 장치 (Advanced Digital Process Control Unit) 가 있습니다. 또한이 기계에는 프로세스 가스에서 입자 오염을 제거하는 이중 포켓 통합 입자 여과 도구 (dual-pocket integrated particle filtration tool) 가 있습니다. RAMCO Ram 5 (RAMCO Ram 5) 는 전문 등급의 에처이며 안전, 신뢰성 및 성능에 대한 업계 표준을 충족하고 초과합니다. 이 제품은 다양한 업종에 의해 신뢰되며, 박막 에칭 (etching), 애싱 (ashing), 인터커넥트 레이어 (interconnect layers), 패턴화 (patterning), 이미징 (imaging) 등 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 고급 프로세스 제어, 고정밀도 및 반복성을 갖춘 램 5 (Ram 5) 는 반도체 제조 업계의 고수율, 비용 효율적인 프로세스에 이상적인 도구입니다.