판매용 중고 RAMCO Ram 280 #293643660

RAMCO Ram 280은 반도체의 산업 에칭 및 재싱을 위해 주로 설계된 아트 에처/애셔 (echer/asher) 의 상태입니다. 이 기계는 반응성 챔버 (reactive chamber), 가스 제어, 로봇 공학 및 압력 조절의 정교한 조합을 사용하여 최적의 에칭 및 애싱 결과를 보장합니다. 이 장비는 부식 내성 물질로 구성된 진공 챔버 (vacuum chamber) 와 자동 로봇 시스템 (robotic system) 을 사용하여 에치 앤 애싱 (etch and ashing) 을 수행합니다. 로봇 암은 원격으로 제어되는 마비 도구, 픽앤 플레이스 (pick-and-place) 장치로 웨이퍼 조작, 정밀 제어를 위해 조절 가능한 압력 조절기 (pressure regulator) 로 조정됩니다. 압력 조절기 (pressure regulator) 는 최적의 에칭 및 애싱 결과를 위해 가스 전달을 제어하는 데 사용됩니다. 직관적인 사용자 인터페이스에는 GUI (Graphical User Interface) 와 터치 스크린 컨트롤이 포함되어 있어 손쉽게 작동할 수 있습니다. 또한 사용자 ID (사용자 ID) 를 자동으로 확인하고 다양한 매개변수와 기능에 액세스할 수 있는 소프트웨어가 있습니다. 또한 RAMCO MES 소프트웨어 제품군을 사용하면 이전 프로세스의 데이터를 지속적으로 액세스할 수 있고, 매개변수와 결과를 효율적으로 추적할 수 있습니다. 램 280 (Ram 280) 에는 진공실의 온도 모니터링을위한 온도 조절 기계가 장착되어 있습니다. 이 도구에는 온도 센서, 온도 (thermocouple) 및 열전대 데이터 로거 (thermocouple data logger) 가 포함되어 있습니다. 이 자산은 공정 제어 및 모니터링 기능으로 설계되어 높은 에치/애쉬 (etch/ash) 수율 및 신뢰성을 보장합니다. 프로세스 모니터링 모델 (process monitoring model) 을 통해 프로세스 변수를 실시간으로 모니터링하여 etch/ash 프로세스를 제어할 수 있습니다. 프로세스 모니터링 장비 (Process Monitoring Equipment) 는 범위 제한 밖의 가변적 (Variable of Range) 을 모니터링하고 경보 처리하도록 구성하여 정확한 피드백과 제어를 제공합니다. 또한, 이 시스템에는 운영 및 품질 관리를 위한 데이터 수집을 위한 프로세스 추적 (process traceability) 기능이 제공됩니다. RAMCO Ram 280은 효율적이고 정확하며 신뢰할 수있는 etcher/asher 장치입니다. 이 제품은 가스 안전 차단 (Gas Safety Shutdown), 온도 모니터링 (Temperature Monitoring) 및 격납을 포함한 최고 수준의 안전 기능으로 설계되어 안전한 운영 환경을 보장합니다. 프로세스 개발 또는 프로덕션 환경에서 사용되든, Ram 280은 품질 에치/애쉬 (etch/ash) 결과를 제공합니다.