판매용 중고 RAMCO Ram 250 #9181898

RAMCO Ram 250은 제조 및 실험실 환경의 산업 및 연구 응용 분야를 위해 설계된 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 입니다. 다양한 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 및 ablation (ablation) 프로세스를 통해 사용자가 에칭 및 애싱 프로세스를 제어할 수 있습니다. Ram 250은 12 "x 14" 커패시티브 커플 링 챔버를 특징으로하며, 외부 소스의 오염을 최소화하고 균일 한 에칭 프로파일을 제공하도록 설계되었습니다. 챔버는 스테인레스 스틸 뚜껑과 합금 절연 벽으로 만들어졌으며, 단일 포토 마스크 홀더 (photomask holder) 를 포함합니다. Ar, O2 및 CHF3과 같은 다양한 에칭 화학 물질로 최대 10 "웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 0.2-2.0 토르 (Torr) 의 압력 범위에서 작동하여 습식 및 건식 에칭 화학에서 높은 속도와 높은 선택성 에치를 모두 허용합니다. 램코 램 (RAMCO Ram) 250은 에칭 기능 외에도 애싱 (ashing) 기능을 제공하여 사용자가 기판에서 포토레스 코팅 된 레이어를 선택적으로 제거 할 수 있습니다. 직경은 최대 10 ", 두께는 최대 4" 의 기판을 처리 할 수 있습니다. 애싱 (ashing) 뿐만 아니라 스퍼터 클리닝, 예금 에칭 및 에치 앤 린스 프로세스도 제공합니다. Ram 250에는 이중 주파수 RF 전원 공급 장치, 조절 가능한 가스 흐름, 디지털 판독 장치, 온보드 안전 및 교정 제어 등 연구 개발 응용 프로그램에 적합한 몇 가지 기능이 있습니다. 또한 여러 프로세스 챔버에 대한 6 포트 로터리 밸브 (rotary valve) 를 제공하여 여러 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 안전성 측면에서 RAMCO Ram 250은 OSHA (Occupational Safety and Health Administration) 요구 사항을 준수하도록 설계되었으며 실험실에 유해 가스 배출을 제거하기위한 비 벤트 (no-vent) 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 EEC, UL 및 CSA가 승인되었습니다. 전반적으로 램 250 (Ram 250) 은 다재다능한 에처 및 애셔로, 컴팩트하고 사용하기 쉬운 장치로 에칭 및 애싱 기능을 모두 제공합니다. 안정된 성능을 제공하도록 설계되었으며, 안전과 효율성을 위한 여러 기능을 갖추고 있습니다. 람코 램 (RAMCO Ram) 250은 다양한 에치 앤 애싱 (etch and ashing) 응용 분야를 위해 신뢰할 수 있고 다재다능한 에처와 애셔를 추구하는 실험실 및 제조업체에 이상적인 선택입니다.