판매용 중고 RAMCO Ram 250 #9181761

RAMCO Ram 250
제조사
RAMCO
모델
Ram 250
ID: 9181761
웨이퍼 크기: 6"
Batch plasma systems, 6".
RAMCO Ram 250 etcher/asher는 모든 산업 환경을위한 안정적이고 성능 중심의 기계입니다. 업계 표준을 충족하는 단단계, 5 상, 고출력 표면 준비 장비이며, 부품 부품 준비에 유연성이 향상되었습니다. 이 기계는 동일한 프로세스 사이클 (process cycle) 에서 동시에 하나 이상의 제품을 고에너지 가스 에칭 및 애싱 (ashing) 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 단일 공정 챔버를 사용하며, 고출력 무선 주파수 발생기에 의해 유지되는 플라즈마로 작동하여 폐쇄 루프, 진공 밀봉 대기 내에서 반복 가능한 고에너지 작동을 가능하게한다. 기계는 처리 실과 드라이버 캐비닛의 두 섹션으로 나뉩니다. 가공 챔버는 1, 2 또는 3 개의 공정 영역을 사용하여 필요한 경우 에치 및/또는 애쉬 재료를 사용합니다. 각 프로세스 존 (zone) 에 대해 온도, 압력 및 무선 주파수 전원을 개별적으로 제어하여 부품과 고객의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 드라이버 캐비닛에는 제어 및 안전 시스템이 있습니다. Ram 250의 온도 범위는 섭씨 80 ~ 310도이며 압력 범위는 5 x 10-5 ~ 300 밀리바입니다. RAMCO Ram 250 (RAMCO Ram 250) 은 0.1kW에서 25kW로 확장 가능한 전력 범위의 13.56MHz 주파수로 작동하는 안정적인 시스템으로, etcher/asher가 반복 가능한 성능과 품질 결과를 낼 수 있습니다. 이 장치는 솔리드 프레임 (solid-frame) 구성으로 주문용으로 제작되었으며 터치 스크린 사용자 제어 및 안전 시스템 (safety system) 이 제공됩니다. 대용량 (대용량) 과 대용량 (대용량) 공정 챔버 (대용량) 로 인해 기계의 작동 비용이 저렴하다. 또한 각 프로세스 존 (zone) 은 독립적으로 모니터링 및 제어할 수 있으므로 프로세스 일관성이 필수적인 영역에 적합합니다. Ram 250 etcher/asher는 품질을 희생하지 않고 뛰어난 출력을 제공합니다. 즉, 여러 작업을 수행할 수 있으며, 반복 처리 작업에 매우 안정적입니다. 이러한 유연성은 배치 (batch) 및 연속 (continuous) 프로세싱에 모두 사용될 수 있는 반면, 고에너지 운영, 장기적 내구성, 낮은 운영 비용 등으로 인해 많은 업계에서 탁월한 선택이 가능합니다.
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