판매용 중고 RAMCO 8500-II #9097144

RAMCO 8500-II
제조사
RAMCO
모델
8500-II
ID: 9097144
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Asher, 8", 1994 vintage.
RAMCO 8500-II는 Etcher/Asher 장비로, 화학 에칭 및 애싱 프로세스를위한 다기능 및 효율적인 다기능 플랫폼입니다. 동급 모든 시스템의 가장 광범위한 에칭 (etching), 애싱 (ashing), 습식 (wet) 처리 및 웨이퍼 클리닝 기능을 제공합니다. 8500-II는 높은 수율, 높은 정확도 프로세스 제어 장치 (eching process) 로 에칭 프로세스를 정밀 제어하도록 설계되었습니다. 고급 SPC (Statistical Process Control) 기술을 갖춘 완전 프로그래밍 가능한 다기능 프로세스 컨트롤러를 통해 중요한 프로세스 매개변수를 최대한 제어할 수 있습니다. RAMCO 8500-II는 수동 작업 모드뿐만 아니라 반자동으로 매우 정확하고 반복 가능한 처리 결과를 제공합니다. 8500-II 모듈식 설계를 통해 업무 중단을 최소화하면서 기존 습식 처리 환경에 손쉽게 통합할 수 있습니다. 두 개의 에칭 엔진 (etching engine) 이 장착되어 있어 사용자가 한 번에 여러 개의 에칭 및 클리닝 기능을 수행 할 수 있습니다. 또한 모듈식 설계에는 고속 냉각 냉각기, 자동 플러싱 장치, 저항 센서, 다중 기판 홀더 등 다양한 옵션 장치가 포함됩니다. RAMCO 8500-II 의 고급 에칭 기능은 가장 엄격한 설계 사양을 충족하는 고해상도 (high resolution) 패턴을 제공합니다. 탁월한 편집 기능으로 고도의 정밀도 (precision) 에칭을 제공하여, 세부적으로 자료를 수동으로 추가, 제거할 수 있습니다. 8500-II는 프로세스 개발을 단순화하기 위해 다양한 자동 에칭 레시피를 제공합니다. 또한, 다양한 가스 및 플라즈마 소스로 수동 에칭을 지원하여 사용자가 에칭 프로토콜을 추가로 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 활성 배기 제어 메커니즘을 통해 클린 룸 호환 에칭 환경 (RAMCO 8500-II) 을 보장합니다. RAMCO 8500-II는 제어 압력과 온도 애싱 도구를 통해 다양한 애싱 기능을 제공합니다. 고급 자산 설계 (advanced asset design) 를 사용하면 가장 정밀하게 애싱 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 자동화된 레시피를 통해 사용자는 프로세스 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 8500-II는 도구 모니터링, 웨이퍼 로드/언로드, 챔버 클리닝/개조, 예방 유지 관리, 모델 보정 등 다양한 생산 및 유지 관리 기능을 제공합니다. 모듈식 (Modular) 으로 업그레이드할 수 있으며, 고객의 요구 사항을 충족하고 운영 처리량을 높일 수 있도록 장비를 맞춤형으로 조정할 수 있는 유연성을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 프로세스 중심 설계를 통해, RAMCO 8500-II는 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 환경에 다양하고 안정적인 추가 기능입니다.
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