판매용 중고 QUESTER / ALCANTECH MAS 801 #293592866

ID: 293592866
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Etcher 1990 vintage.
QUESTER/ALCANTECH MAS 801은 반도체 산업의 프로세스를 위해 특별히 고안된 고급 etcher/asher입니다. 그것 은 "실리콘 '," 알루미늄', 이산화실리콘 '및 기타 전도성 혹은 저항성 물질 을 포함 하여 매우 다양 한 반도체 물질 에 대한 매우 정밀 한 에칭 과 재 를 전달 할 수 있다. QUESTER MAS 801에는 2 개의 ALCANopro Pulse RF 및 DC 발전기가 장착 된 3 차원 진공실이 장착되어 있어 매우 정확하고 균일 한 전력 분배가 가능합니다. 이 기능을 사용하면 단위 (unit) 가 공정 에칭에 특히 유용하여 높은 정밀도와 낮은 입자 수준을 보장합니다. 또한 ALCANTECH MAS 801 에는 다양한 챔버 (chamber) 크기를 처리할 수 있는 대형 세라믹 에칭 챔버 (etching chamber) 가 있어 고객이 원하는 최종 제품을 기반으로 에칭 구성을 조정할 수 있습니다. MAS 801의 에칭 기능은 정밀한 가스 흐름 제어 (gas flow control) 및 모니터링 장비로 더욱 향상되어 에칭 속도 (etching rate) 와 측벽 (sidwall) 프로파일을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 정확한 제어를 통해 에칭 (etching) 프로세스에 대한 보다 높은 수준의 제어 및 정확성, 결함 감소, 처리량 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다. QUESTER/ALCANTECH MAS 801에는 고급 배기 여과 시스템도 포함되어 있으며, 이 시스템은 운영자에게 프로세스에 대한 최고의 제어를 제공합니다. 고효율 의 "필터 '는 기름 이나 미립자 와 같은 어떤 청소실 오염 물질 도" 에칭 가스' 로 내쫓지 않도록 한다. 이 여과 장치 (filtration unit) 는 또한 해당 영역의 소음 수준을 크게 줄이고 연산자의 안전을 보장합니다. QUESTER MAS 801에는 자체 잠금 안전 도어, 가스 과압 모니터링 머신, 냉각식 냉각 도구 등 다양한 안전 기능이 있습니다. ALCANTECH MAS 801의 영리하게 설계된 냉각 자산 (cooling asset) 은 에칭 챔버가 가능한 한 빨리 냉각되어 열 충격으로 인한 사고 위험을 줄입니다. MAS 801은 신뢰할 수 있고 정확하며 강력한 etcher/asher입니다. 에칭 (etching) 과 안전 (safety) 의 고급 기능을 통해 운영자 감독이 최소화되어 가장 까다로운 환경에서 사용할 수 있습니다.
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