판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS IoN 100/40Q #293731588

ID: 293731588
웨이퍼 크기: 4"-6"
System, 4"-6" Type: RF Batch tool Gas: O2/N2 XDS35 Pump.
TECHNICS IoN 100/40Q는 반도체, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 및 광학 산업의 다양한 재료의 정확하고 균일 한 플라즈마 처리를 제공하기 위해 설계된 정교한 etcher/asher 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 에칭 (etching), 클리닝 (cleaning) 및 표면 수정 응용 프로그램을위한 고급 기능을 제공하여 연구 개발 실험실 및 생산 시설에 필수적인 도구입니다. PVA TEPLA IoN 100/40Q의 중심에는 고성능 플라즈마 소스 (plasma source) 가 있으며, 이는 광범위한 공정 화학 물질에 적합한 반응성이 높은 플라즈마 환경을 생성합니다. 이 장치에는 강력한 RF 전원 공급 장치 (Power Supply) 가 있어 플라즈마 소스에 정밀한 전원 수준을 제공할 수 있으므로 일관되고 재현이 가능한 처리 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 가스 흐름 제어기 (IoN 100/40Q) 를 사용하여 IoN 100/40Q는 프로세스 가스의 구성 및 흐름 속도를 정확하게 제어 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 플라즈마 화학을 특정 처리 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. PVA TEPLA/TECHNICS IoN 100/40Q에는 전체 기판 표면에서 우수한 프로세스 균일성을 제공하도록 설계된 최첨단 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 챔버 (Chamber) 는 다양한 공정 가스 및 화학 물질과 호환되는 고순도 석영 구조를 특징으로합니다. 이 약실 에는 또한 정밀 온도 조절 장치 (precision temperature control system) 가 갖추어져 있어, 안정적 인 공정 환경 을 유지 할 수 있어, 실행 에 대한 일관성 있는 결과 를 얻을 수 있다. TECHNICS IoN 100/40Q 의 주요 기능 중 하나는 고급 자동화 기능으로, 프로세스 개발 및 운영 워크플로우를 간소화합니다. 이 도구에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 가 장착되어 있어 운영자가 손쉽게 처리 레시피를 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 자동화 기능에는 레시피 관리, 실시간 프로세스 모니터링, 데이터 로깅 (Data Logging) 기능 등이 있으며, 사용자가 프로세스 매개변수를 최적화하고 시간이 지남에 따라 프로세스 성능을 추적할 수 있습니다. PVA TEPLA IoN 100/40Q는 다양한 응용 프로그램 및 재료를 수용할 수있는 광범위한 처리 모드를 제공합니다. 에셋은 에칭 (etching) 및 애셔 (asher) 프로세스를 모두 수행할 수 있으며, 다양한 표면 수정 작업을위한 다용도 도구입니다. IoN 100/40Q 는 사용자가 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 정확한 패턴을 에칭해야 하는지, 아니면 접합 응용 프로그램을 위해 표면을 청소하고 활성화해야 하는지, IoN 100/40Q 는 탁월한 정확도와 제어를 통해 필요한 성능을 제공할 수 있습니다. 결론적으로, PVA TEPLA/TECHNICS IoN 100/40Q는 최첨단 기술과 고급 자동화 기능을 결합하여 광범위한 애플리케이션에 대해 정확하고 균일 한 플라즈마 처리를 제공하는 최첨단 etcher/asher 모델입니다. 고성능 플라즈마 소스, 고급 가스 흐름 제어 장비, 최첨단 프로세스 챔버 (state-of-art process chamber) 를 갖춘 IoN 100/40Q는 플라즈마 처리 기술의 경계를 밀고 싶어하는 연구원 및 엔지니어에게 없어서는 안될 도구입니다. 연구 실험실이나 생산 환경에서 TECHNICS IoN 100/40Q (IoN 100/40Q) 는 까다로운 플라즈마 처리 어플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션으로 두드러집니다.
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