판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS GIGAbatch 380P #9278211

PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P는 금속, 플라스틱 및 세라믹 재료와 같은 다양한 기판을 처리하도록 특별히 설계된 대규모 병렬 처리, 반응성 이온 에처/애셔입니다. 특유의 설계는 기능 프로세서, 옵토 전자, 나노 기술, 마이크로파/밀리미터 크기의 장치 등 전자 업계의 응용 분야에 이상적입니다. TECHNICS GIGAbatch 380P는 배치 처리 장비를 사용하여 처리량을 극대화합니다. 이 시스템은 최대 690 x 890mm 크기의 기판을 처리하도록 설계되었습니다. PVA TEPLA GIGAbatch 380P는 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하여 안정적인 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. 에칭 두께는 1 미크론 (micron) 까지 낮게 조정할 수 있으며, 프로세스 모니터링 및 분석에 의해 반복성이 보장됩니다. GIGAbatch 380P는 여러 가지 기술 기능을 갖춘 완전 자동화 장치입니다. 첫째, 고진공 환경은 에칭/애싱 (etching/ashing) 과정에는 오염 물질과 먼지가 없도록 보장하며, 이는 민감한 회로 및 표면에 대한 손상 위험을 최소화합니다. 둘째, 에칭/애싱 프로세스는 균일 한 결과를 보장하기 위해 시간이 정해질 수 있습니다. 또한 PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P는 에칭, 스트리핑 또는 재싱과 같은 다른 레시피를 사용하여 재료를 처리 할 수 있습니다. 셋째, TECHNICS GIGAbatch 380P에는 실시간 컴퓨터 제어 프로세스 모니터링 및 분석 시스템이 장착되어 있습니다. 이 도구는 끊임없이 활동을 모니터링하고 필요에 따라 매개변수를 조정하여 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 프로세스가 항상 제어되도록 합니다. 많은 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 조정할 수 있으며, 최적의 성능과 프로세스 반복성을 보장하기 위해 전체 프로세스를 모니터링하고 분석해야 합니다. PVA TEPLA GIGAbatch 380P는 안정적이고 반복 가능하며 효과적인 에칭/애싱 프로세스를 제공하는 고급 에처/애셔입니다. 다양한 자료, 운영자, 애플리케이션에 적합하며, 고객의 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 요구 사항을 효율적으로 충족할 수 있습니다.