판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P #293798850
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PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P는 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. TECHNICS GIGA배치 380P (Potentiostatic External Contact) 를 통해 레지스트 에칭 및 플라즈마 애싱 응용 프로그램 모두에서 낮은 수준의 전류를 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 작은 설치 공간을 갖추고 있으며, 넓은 공간에 사용할 수 있습니다. 또한 PVA TEPLA GIGAbatch 380P는 프로세스 및 작업 모니터링을 모두 제공하여 필요에 따라 시스템 최적화를 허용합니다. GIGAbatch 380P는 처리 매개변수를 정확하게 동기화하여 정확하고 안정적인 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공합니다. 또한, etcher/asher에는 최적화 된 전구체 및 가스 분배가 장착되어 있어 장치가 매우 효율적입니다. 또한 PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P는 높은 에치 속도와 낮은 결함을 생산하도록 설계되었습니다. etcher/asher에는 비활성 챔버와 정확한 온도 및 압력 제어가 장착되어 있습니다. 즉, 프로세싱의 정확성과 장치와 사용자 모두에게 안전성을 보장합니다. 챔버는 테 플론 (Teflon) 으로 만들어져 내구성이 뛰어나고 청소가 쉽습니다. 또한 TECHNICS GIGAbatch 380P는 금속, 폴리 실리콘 및 에피 택시 실리콘 (epitaxy silicon) 과 같은 다양한 재료를 에칭, 애싱, 반사 방지 코팅 및 백-에칭하여 다재다능한 장치입니다. PVA TEPLA GIGAbatch 380P는 아날로그 및 디지털 입력이 모두 포함된 내장형 컨트롤러로, 이 장치는 사용자 친화적입니다. 또한 LCD 터치 스크린을 사용하면 프로세스를 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 디바이스에는 잠재적인 프로세스 오류에 대해 사용자에게 경고하는 지능형 모니터링 시스템 (Intelligent Monitoring System) 이 있습니다. 전반적으로 GIGAbatch 380P는 다양한 응용 분야에 이상적인 에처/애셔입니다. 최적화된 전구체 및 가스 분배, 온도 및 압력 제어, LCD 터치 스크린 등의 기능은 PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P를 효율적이고 신뢰할 수있는 장치로 만듭니다.
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