판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P #293744535

PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380P는 반도체, MEMS 및 고급 포장 산업에서 기판의 정확하고 균일 한 처리를 제공하도록 설계된 고성능 플라즈마 에처/애셔입니다. 이 첨단 장비는 혁신적인 기술과 우수한 엔지니어링 (engineering) 을 결합하여 광범위한 어플리케이션에 일관되고 안정적인 결과를 제공합니다. TECHNICS Gigabatch 380P의 중심에는 이중 주파수 정전기 결합 플라즈마 (CCP) 소스가 있으며, 이는 고효율 플라즈마를 생성하고 다양한 재료의 저온 처리를 허용합니다. 이 "시스템 '은 여러 가지" 가스' 투입 을 갖추고 있어서, 공정 화학 을 정밀 히 제어 하고, 선택성 과 균일성 이 높은 여러 가지 기질 의 "에칭 '이나" 애싱' 을 가능 케 한다. PVA TEPLA 기가 배치 (Gigabatch) 380P는 처리량이 높은 대형 챔버를 특징으로하며, 여러 샘플을 동시에 또는 넓은 영역 기판으로 처리하는 데 적합합니다. 이 장치는 작은 조각에서 300mm 웨이퍼 (wafer) 까지 다양한 웨이퍼 크기를 수용하여 다양한 연구 및 생산 요구에 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 프로세스 유연성과 최적화를 위해 Gigabatch 380P 는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 갖추고 있습니다. 광학 방출 분광학 (OES) 및 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 와 같은 실시간 프로세스 모니터링 도구를 사용하면 원하는 결과를 일관되게 정확하고 정확하게 조정할 수 있습니다. PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380P는 다양한 프로세스 레시피 및 사용자 정의 가능한 매개변수를 제공하여 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족합니다. 직관적이고 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 프로세스 시퀀스 (process sequence) 를 손쉽게 프로그래밍하고 수정할 수 있으며, 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스를 유연하게 제어할 수 있습니다. 안전성 및 신뢰성 측면에서 TECHNICS Gigabatch 380P는 강력한 플라즈마 컨테인먼트 (plasma containment) 및 배기 (exhaust) 시스템으로 설계되어 운영자의 보호 및 환경 준수를 보장합니다. 이 기계는 잠재적인 위험을 예방하고 안전한 운영 환경을 유지하기 위해 포괄적인 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 센서를 갖추고 있습니다. PVA TEPLA Gigabatch 380P 의 유지 보수 및 서비스는 간단하고 효율적이며, 중요한 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있으며, 모듈식 설계를 통해 신속하게 교체 또는 업그레이드할 수 있습니다. 이 도구는 장기적인 성능과 안정성을 보장하고, 다운타임을 최소화하고, 생산성을 극대화하기 위해 고품질 소재와 부품으로 제작되었습니다. 전반적으로 Gigabatch 380P는 까다로운 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 어플리케이션을 위해 고급 프로세스 기능, 정밀 제어, 높은 처리량을 제공하는 최첨단 플라즈마 에처/애셔 (Plasma Etcher/Asher) 자산입니다. 혁신적인 디자인, 강력한 성능, 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖춘 PVA TEPLA/TECHNICS 기가바치 (Gigabatch) 380P는 높은 품질과 효율성을 갖춘 기판을 정확하고 균일하게 처리하려는 연구자와 제조업체에 적합한 툴입니다.