판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS GIGAbatch 380P #293637792

ID: 293637792
Plasma system.
PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P는 일괄 생산에서 인라인 생산에 이르는 다양한 애플리케이션에 적합한 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 진공 기반 프로세스와 고출력 생산을 위한 최적화 된 기술을 갖추고 있습니다. TECHNICS GIGA일괄 처리 (Platch) 380P는 고급 프로세스 제어 장치를 사용하며, 레시피 기반 소프트웨어로 완성되므로 단순하고 반복 가능한 절차 설정과 지속적인 프로세스 최적화를 지원합니다. 시스템의 내장 프로세스 분석 기능은 반복 가능하고 최적의 프로세스 결과를 더욱 보장합니다. 또한, 모든 프로세스 매개 변수는 사용자 친화적 인 터치 패널에서 조정할 수 있으며, PC에 연결할 수 있습니다. TEPLAPVA TEPLA GIGAbatch 380P를 거의 모든 생산 환경에 맞게 조정할 수 있습니다. GIGAbatch 380P의 물리적 구축 측면에서, 강력하고 무거운 10 인치 웨이퍼 (á 200mm) 가 지원되어 반복 가능하고 일관된 에칭 프로세스를 보장합니다. 이 웨이퍼는 12 á 25mm 기판을 처리 할 수 있으며, 배치 전체에 걸쳐 프로세스 결과의 균등 한 분포와 균일 한 에치를 특징으로합니다. 또한, 인라인 입자 필터는 에칭 프로세스가 오염되지 않도록 보장합니다. PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P는 또한 다양한 고급 공정 화학 피드 및 LCD (Liquid Crystal Display) 모니터를 갖추고 있으므로 모든 재료의 일관되고 안전한 처리를 보장합니다. 이 도구는 또한 효율적인 반응 농도로 인해 낮은 수준의 액체 소비를 제공합니다. 마지막으로, TECHNICS GIGAbatch 380P에 통합된 안전 기능은 사용자에게 안심할 수 있습니다. 이 자산은 안전하고 안전한 방식으로 작동하고, 최고 수준의 정밀도, 안정성, 품질 관리 (quality control) 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 철저한 테스트는 제품 수명 동안 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 프로세스의 프로세스 안정성과 양도성을 보장하는 데 도움이 됩니다.
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