판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS GigaBatch 360 P #293637817

PVA TEPLA/TECHNICS GgaBatch 360 P는 다양한 어플리케이션에 이상적인 고성능 배치 에처 및 애셔입니다. 이 장비는 저압 반응성 에칭 (reactive etching) 프로세스를 사용하며, 광범위한 에칭 및 애싱 작업 흐름에 대한 전례없는 정확도, 정밀도, 처리량을 제공할 수 있습니다. TECHNICS Giga Batch 360 P는 초소형 설계를 특징으로하며 금속, 폴리머, 세라믹, 반도체 소자를 포함한 다양한 기판 및 소재로 작동하도록 설계되었습니다. 시스템은 마이크로 마이오틱 컨트롤러 (micromiotic controller) 가 있는 고급 프로세스 제어 장치 (advanced process control unit) 를 사용하므로 에칭 및 애싱 프로세스를 최적화하여 결과를 최적화할 수 있습니다. 이 기계는 또한 쉽게 설치, 프로그래밍할 수 있는 프로그래밍 가능한 레시피 (recipe) 기능 키를 가지고 있으며, 프로세스 검증 및 문제 해결 데이터를 제공할 수 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 재료에 대해 반응성이 높은 에칭 및 애싱 레시피를 생성 할 수있는 고출력 저압 플라즈마 건을 사용합니다. 총은 광범위한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 레시피를 제공 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 레시피를 특정 응용 프로그램 유형에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 도구에는 강력하면서도 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스 (user interface) 가 포함되어 있어 다양한 기판 재료에 대한 사용자 정의 레시피를 빠르게 만들고 저장할 수 있습니다. PVA TEPLA GIGABATCH 360P는 또한 뛰어난 에칭 및 애싱 결과를 제공하도록 설계된 통합, 이중 회전, 완전 밀폐 진공실을 갖추고 있으며, 깨끗함과 안전성도 제공합니다. 챔버 (Chamber) 는 최소 가스 누출과 함께 균일 한 가스 흐름 분포를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 챔버에는 지속적인 배기 흐름을 제공하는 환기 포트가 있습니다. 결론적으로, GIGABATCH 360P는 정밀도, 정확도 및 최대 처리량으로 탁월한 에칭 및 애싱 결과를 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 강력하지만 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 통해 다양한 재료에 대한 레시피를 사용자 정의할 수 있으며, 통합 이중 회전, 완전 밀폐 진공 챔버 (fully-enclosed vacuum chamber) 는 가스 흐름, 청결 함, 안전의 균일 한 분포를 보장합니다.