판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 300 #9358976

PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 300은 대용량 에치 및 애싱 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 이 장비는 검증된 핵심 기술을 활용하여 높은 수준의 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 효율성 및 제품 품질을 제공합니다. TECHNICS Gigabatch 300 (TECHNICS Gigabatch 300) 은 다양한 웨이퍼 및 기판을 수용하기위한 대형 개방형 챔버를 갖춘 안정적이고 정밀한 마이크로 프로세서 제어 수직 구조를 기반으로합니다. etcher/asher는 프로세스 매개 변수 설정을위한 직관적 인 터치 스크린 휴먼 머신 인터페이스 (HMI) 를 갖추고 있습니다. 사용자는 사전 지식 또는 전문 지식 없이 etcher/asher를 빠르고 편리하게 제어 할 수 있습니다. PVA TEPLA Gigabatch 300은 에칭 및 애싱 프로세스의 효과를 향상시키기 위해 다양한 기능을 제공합니다. 그것 은 "웨이퍼 '와 기판 을 신속 하고 안전 하게 적재 하고 적재 하기 위한 고급" 로보틱 스태커' 장치 를 포함 하고 있다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 공정 온도 범위가 300 ° F ~ 900 ° F이며 공정의 정밀도에 대한 더 큰 제어를 위해 5 ° F 단위로 조정 할 수 있습니다. 프로세스 실시간 모니터링을위한 in-situ quartz crystal spectrometer도 포함됩니다. 기가 배치 300 (Gigabatch 300) 은 고효율 가스 전달 장치를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 해당 프로세스에 이상적인 가스 혼합물을 선택할 수 있습니다. 선택 된 "가스 '는 일반" 가스' 상자 에 저장 되어 있으며, 그 로 인해 "가스 '를 부하 챔버' 로 정확 히 전달 할 수 있다. 또한, 이 기계는 낮은 유지 보수 및 간편한 유지 관리 프로세스를 위해 설계되었습니다. PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 300은 또한 공정 챔버에서 깨끗한 반응을 보장하기위한 누수 방지, 고효율 적재 도구를 갖추고 있습니다. 에셋은 또한 반응 챔버 내부의 온도 프로파일을 유지하기위한 증기 재순환 모델을 갖는다. 이를 통해 웨이퍼를 신속하게 냉각시켜 프로세스 비용을 절감할 수 있습니다. TECHNICS 기가바치 300 (TECHNICS Gigabatch 300) 은 에칭 (etching) 또는 어싱 (ashing) 프로세스의 뛰어난 반복성을 제공하도록 설계되었으며 대용량 에칭과 어싱 (ashing) 을 비용 효율적인 가격으로 찾는 고객에게 적합합니다. 다양한 기능을 갖춘 PVA TEPLA Gigabatch 300은 다양한 산업 및 학술 환경에서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위한 탁월한 선택입니다.