판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS 8800 #107431
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ID: 107431
parallel plate reactive ion etch system
17" diameter electords
Pneumatic operated chamber hoist
(2) MFC controlled gas lines
40 KHz power supply
220V, 50/60 Hz.
PVA TEPLA/TECHNICS 8800은 최신 실험실 및 마이크로 패브레이션 워크숍에서 사용하도록 설계된 최첨단, 신뢰성, 매우 정확한 etcher/asher입니다. 8 개의 독립적으로 제어되는 챔버 (chamber) 를 통해 다양한 기판을 동시에 에치 (etch) 하거나 애쉬 (ash) 할 수 있습니다. TECHNICS 8800의 압력 범위는 1 ~ 10 Torr이며, 자동 초점 장비, 마이크로 스테핑 및 LCD 디스플레이와 같은 광범위한 기능이 있습니다. PVA TEPLA 8800에는 -20 ° C까지 온도를 제어 할 수있는 열전원이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 "알루미늄 ', 구리," 실리콘', 금 등 여러 가지 물질 을 식각 할 때 정확 한 온도 조절 을 할 수 있다. 또한 8800 은 압력 (pressure), 온도 차단 (temperature cut-off) 시스템 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있으며, 직원들에게 가동 이상에 대해 알리기 위한 경보 시스템도 갖추고 있습니다. PVA TEPLA/TECHNICS 8800은 강력한 300W RF 발전기로 구동되는 고급 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 이 장치는 1MHz (최대 140MHz) 의 주파수를 펄스 (pulsing) 하여 기판 전체에 걸쳐 에칭을 할 수 있으며, 최상의 결과를 얻을 수 있도록 여러 가지 고급 기능도 포함합니다. 이러한 기능을 사용하면 다중 패스 미세 조정 (multi-pass fine-tuning) 및 하드 재질의 향상된 에칭 (etch) 을 위해 조정 가능한 램프 속도 기능과 같은 에치 프로파일을 미세하게 튜닝할 수 있습니다. TECHNICS 8800은 정교한 etcher/asher 기계이며 다양한 기능을 제공합니다. 견고하고 신뢰할 수 있으며, 다양한 연구/산업 환경에서 사용할 수 있습니다 (영문). PVA 테플라 (TEPLA) 8800 은 다양한 기능과 포괄적인 안전 시스템 (Safety System) 을 통해 안정적이고 귀중한 툴로서 높은 품질의 에치와 재를 일관되게 생산할 수 있습니다.
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