판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS 300 TL1000 #9247548

PVA TEPLA/TECHNICS 300 TL1000 Asher는 산업용으로 설계된 고성능 에처입니다. 모든 반도체 애플리케이션에 적합한 가스 제어, 단일 웨이퍼 및 배치 처리 장비입니다. 애셔 (asher) 는 화학적 (chemical) 과 물리적 (physical) 과정의 조합을 사용하여 다양한 기질에서 패턴과 구조를 에치합니다. 사용 된 "가스 '는 불활성 질소" 가스' 와 혼합 된 산소 와 휘발성 유기 증기 의 조합 이다. 챔버 (chamber) 압력은 반복 가능하고 정확한 프로세스 결과를 보장하기 위해 일정한 수준으로 유지됩니다. TECHNICS 300 TL1000 Asher에는 다양한 기능이 장착되어 있어 일관된 품질과 안정성을 보장합니다. 시간당 최대 30 웨이퍼의 처리량으로 100 nm/min 이상의 에칭 또는 에칭 스퍼터링 속도를 생성 할 수 있습니다. 또한, asher는 다양한 크기, 모양 및 유형의 기판을 처리 할 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 상태 (status) 및 매개변수 설정 (parameter settings) 을 명확히 파악하고 포괄적인 실시간 프로세스 모니터링을 제공합니다. PVA TEPLA 300 TL1000 Asher의 가스 공급 시스템은 가스에 안정적이고 반복 가능한 투약 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 모든 "가스 '는" 가스' 농도 와 유속 이 정확 하게 조절 되는 방 에 저장 된다. "가스 '혼합물 의 분포 도 여러 개 의" 가스' 입구 를 통하여 유지 되어 전체 기판 에 균일 한 "에칭 '이나" 스퍼터링' 속도 를 보장 한다. 300 TL1000 Asher에는 인원과 장비를 보호하기 위해 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 장치 에는 "도어 '" 인터록' 이 있어서 기계 가 작동 할 때 에 약실 에 접근 하지 못하게 한다. 고급 화재 억제제 도구는 위험한 상황을 방지합니다. 또한 전체 자산은 CE 안전 규정 준수를 위해 테스트 및 인증됩니다. PVA TEPLA/TECHNICS 300 TL1000 Asher에는 다양한 프로세스 제어 옵션이 장착되어 있으며, 최소한의 변형으로 균일 한 에칭 또는 스퍼터링 속도를 보장합니다. 온도, 압력 및 기타 변수는 매우 정확한 피드백 루프로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 가열 모델 (heating model) 은 챔버 벽이 너무 뜨거워지지 않도록 설계되어 반응 시간을 줄이고 균일 한 공정 결과를 보장합니다. 결론적으로 TECHNICS 300 TL1000 Asher는 가장 까다로운 반도체 애플리케이션에 적합한 안정적이고 효율적인 etcher/asher입니다. 높은 처리 속도와 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 를 통해 일관되고 반복 가능한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 안전성과 정확성을 보장하기 위해 포괄적인 안전 (Safety) 기능과 프로세스 제어 옵션을 갖추고 있습니다.