판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS 300-E #9049959

PVA TEPLA/TECHNICS 300-E는 다양한 표면 마무리 작업에 사용되는 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔에는 다양한 기능과 응용 프로그램이 있습니다. TECHNICS 300-E는 저항성 난방 프로세스를 사용하여 표면을 빠르게 에치 및 애셔 처리합니다. 최대 250 ° C의 온도 범위, 최대 ± 1 ° C의 온도 조절 범위, 최대 30 sec의 시간 제어 범위에 부품을 적용 할 수 있습니다. 온도 조절 정확도는 ± 2 ° C이며 0.1 ° C의 증가로 조절 할 수 있습니다. 이 etcher/asher는 단일 영역 열 처리를 위해 설계되었으며 수직 (vertical) 모드와 수평 (horizontal) 모드 모두에서 작동 할 수 있습니다. 또한 진공 탱크 설계 (vacuum tank design) 를 통해 보다 정확하고 일관된 결과를 얻을 수있는 정확한 프로세스 반복성을 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 긴급 정지 스위치와 함께 IC 온도 컨트롤러 및 지상 결함 장치로 구성된 자동 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 내장형 냉각 시스템은 운영 온도 제한을 초과하지 않도록 합니다 (예: 샘플 보호). PVA TEPLA 300E는 단일 웨이퍼, 배치 및 반 배치와 같은 다양한 에칭 및 애싱 구성을 제공합니다. 시료의 균일 한 가열을위한 SiC 가열 요소가있는 200mm (너비) x 300mm (길이) x 250mm (깊이) 의 공정 챔버 크기가 있습니다. 14 인치 웨이퍼 프로세싱도 가능합니다. 전반적으로 300-E는 효율적이고 정확한 표면 마무리 작업을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 프로세스 챔버 크기, 온도 조절, 조정 가능한 시간 제어, 비상 정지 스위치, IC 온도 제어 등 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 또한 운영자의 구체적인 요구를 충족하는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 구성도 포함됩니다.