판매용 중고 PVA TEPLA Sam 400 Twin #9354501

PVA TEPLA Sam 400 Twin은 다양한 유형의 기판을 우월하게 에칭/애싱하도록 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 시장에서 가장 발전된 에칭/애싱 시스템 중 하나이며, 짧은 에칭/애싱 시간 (etching/ashing time) 으로 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 최적의 에칭/애싱 성능을 위해 가열되고 제어되는 이중 에치/애쉬 (etch/ash) 처리 챔버가 있습니다. 이중 챔버 (dual chamber) 는 다른 물질로 에치/애쉬 프로세스를 수행하기 위해 다른 매개변수로 프로그래밍 될 수있다. 장비는 여러 가지 에치/애쉬 사이클 유형 (etch/ash cycle type) 과 기판 유형에 맞게 조정 가능한 단계 시퀀스를 제공합니다. Sam 400 Twin은 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 첨단 소재 (Advanced Material) 와 프로세스 제어 시스템 (Process Control System) 을 통해 반응 프로세스를 모니터링하고, 사용자가 다양한 매개변수를 조정할 수 있는 작동이 간편한 디지털 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 많은 공기 압력 및 온도를 지원할 수 있으며 에칭/애싱 가스 (etching/ashing gas) 혼합물에서 불순물을 제거하기위한 통합 여과 장치가 있습니다. PVA TEPLA Sam 400 Twin은 단면 및 양면 모드 모두에서 작동 할 수 있습니다. 단면 (Single-sided) 모드에서 단일 웨이퍼가 로드되고 에칭/어싱을 위해 프로세스 챔버로 이동합니다. 양면 (double-sided) 모드에서는 두 개의 웨이퍼가 플래튼 (platen) 의 반대편에 로드되어 양쪽에서 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 위해 프로세스 챔버로 내려집니다. 이 장치의 설계를 통해 부품 유지 보수 및 교체를 용이하게 하여 수명 연장 (extended lifetime performance) 을 실현할 수 있습니다. 기계 유지 관리 (예: 필터 브러쉬 및 샘플 홀더) 를 위한 다양한 액세서리 및 도구 (예: 샘플 재료 제거 최적화) 가 있습니다. 전반적으로 Sam 400 Twin은 짧은 에칭/애싱 시간으로 뛰어난 에칭/애싱 결과를 제공하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. 강력한 기능, 고급 자재 (Advanced Material) 및 프로세스 제어 기능, 간편한 유지 관리 기능을 통해 다양한 에칭/애싱 (Etching/Ashing) 애플리케이션에 이상적인 올인원 솔루션이 될 수 있습니다.