판매용 중고 PVA TEPLA / METROLINE 400 #9249264

PVA TEPLA / METROLINE 400
ID: 9249264
빈티지: 1999
Plasma cleaner 1999 vintage.
PVA TEPLA/METROLINE 400은 다양한 산업 및 상업 응용 분야에 사용하도록 설계된 에처/애셔입니다. 다양한 마이크로 머신 및 에칭 프로세스에 사용됩니다. 이것은 복잡한 미세 구조를 처리하기 위한 독특한 솔루션으로, 높은 정확도, 반복 가능한 결과, 그리고 에치 매개변수 (etch parameters) 를 정확하게 제어합니다. PVA TEPLA 400에는 적응성이 뛰어난 챔버 300mm x 200mm (LxW) 와 METROLINE 400mm 높이가 장착되어 있으며 유연한 워크로드로 최대 6in (150mm) 길이의 대형 기판을 처리합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 컴포넌트가 부드럽게 이동하고 다른 에칭 반도체 응용 프로그램을 지원할 수 있도록 설계되었습니다. 400은 1-100mm 초점 범위, 최대 20kHz 이상의 반복 속도 및 최소 스팟 크기 0.2 미크론의 2,000 와트 ND: YAG (Neodymium Yttrium Aluminum Garnet) 레이저 다이오드를 특징으로합니다. 이를 통해 정확성과 정밀도가 높은 다양한 에칭, 레이저 절단, ablation 및 lithography 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 시간 도메인 및 주파수 도메인 처리 기능을 모두 지원합니다. PVA TEPLA/METROLINE 400에는 일관된 결과를 보장하는 안정적인 기계 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 정밀 X축 이동 범위, 100mm, 정밀 Y축 이동 범위 200mm, 정밀 Z축 이동 범위 PVA TEPLA 400mm 및 조도 안정성 최대 1.6% 가 포함됩니다. 이를 통해 일관되게 정확하고 반복 가능한 다양한 프로세스를 수행할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 조정 가능한 가스 압력을 특징으로하며, 이는 최적의 에치 품질을 위해 조정 될 수 있습니다. METROLINE 400은 다양한 작업을 위해 설계된 유연하고 강력한 asher 및 etcher입니다. 높은 정확도, 반복 가능성 및 다양한 에칭 옵션이 특징입니다. 또한 에치의 최적의 품질을 보장하기 위해 조절 가능한 가스 압력 (gas pressure) 이 장착되어 있습니다. 컴팩트한 크기와 신뢰할 수있는 기계식 머신 (mechanical machine) 은 빈 공간이있는 더 작은 생산 라인에 이상적인 솔루션입니다.
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