판매용 중고 PVA TEPLA / MERCATOR / MCS LF 5 #136887
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PVA TEPLA/MERCATOR/MCS LF 5는 사진, 반도체 및 기타 관련 산업의 광범위한 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 시스템의 고유한 기능과 유연성 (Flexibility) 은 다양한 프로세스를 위한 안정적이고 필수적인 구성 요소입니다. 이 장치는 고급 플라즈마 (Plasma Advances) 기술을 사용하여 다양한 산업 응용 분야에 사용되는 소형 기판을 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 합니다. 이 기계는 실리콘 웨이퍼, GaAs/GaN/InGaN 및 반도체 제조에 사용되는 기타 재료를 포함한 다양한 재료를 처리합니다. 에처는 또한 전기 화학적으로 에칭 된 웨이퍼 (예: MEMS 응용 프로그램에 사용되는 웨이퍼) 를 처리 할 수있다. TEPLAMCS LF 5 (TEPLAMCS LF 5) 는 완전히 자동화된 도구이며, 더 큰 기판을 쉽게 수용하도록 설정할 수있는 최대 3 개의 공정 챔버가 있습니다. 방은 최적의 성능을 위해 자동으로 가열되고 냉각되며, 에셋에는 압력 (pressure), 온도 (temperature) 및 기타 변수를 제어하기 위한 다양한 매개변수가 포함되어 있습니다. 터치 스크린 디스플레이가 있는 대화형 GUI (Graphical User Interface) 를 활용합니다. 이를 통해 사용자는 주요 운영 매개변수를 보고 필요에 따라 챔버를 변경할 수 있습니다. 또한 사용자 인터페이스를 사용하면 작업 중 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 모델의 혁신적인 기술은 우수한 프로세스 반복성을 보장하며, 극한의 상황에서도 에치 (etch) 와 애싱 (ashing) 성능이 최소화됩니다. 이 장비의 빠른 응답 시간 (rast response time) 과 효율적인 운영 (operation) 은 높은 처리량과 제품 품질을 제공하여 산업 프로세스에 이상적인 선택입니다. TEPLAMERCATOR LF 5에는 가변 주파수 제어 (Variable Frequency Control) 및 디지털 전원 공급 장치 (Digital Power Supply) 와 같은 다양한 추가 기능이 장착되어 있어 빠른 머시닝 및 처리 제품 정확성이 필요한 어플리케이션에는 없어서는 안될 도구입니다. 전반적으로, PVA TEPLA LF 5는 다양하고 신뢰할 수있는 에처 (etcher) 및 애싱 시스템으로 다양한 프로세스에 사용될 수 있습니다. 첨단 기술, 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface), 효율적인 성능을 통해 업계 및 생산 환경을 위한 최고의 선택이 될 수 있습니다.
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