판매용 중고 PVA TEPLA 600-E #9000644

PVA TEPLA 600-E
제조사
PVA TEPLA
모델
600-E
ID: 9000644
Plasma asher Rotary vacuum pump.
PVA TEPLA 600-E Etcher/Asher는 얇은 필름을 에칭 및 ashing하기위한 완전히 밀폐 된 독립형 장비입니다. 이 시스템은 컴퓨터 자동 제어 기능을 갖춘 플라즈마 (Plasma) 를 사용하여 정확한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 제공하여 연구 및 프로세스 개발에 이상적입니다. 600-E는 안정적이고 반복 가능한 작업 및 프로세스 결과를 보장하기 위해 고품질 구성 요소로 제조됩니다. 이 에칭/애싱 장치는 얇은 필름의 화학 에칭 및 애싱에 플라즈마를 사용합니다. 저온 플라즈마 (Plasma) 기술은 표본이나 제품 표면을 손상시킬 위험없이 안전한 작동을 보장합니다. "플라즈마 '는 특허 를 받은 중공 음극 고리 내 에서 생성 되는데, 이것 은 또한" 에치' 나 "애싱 '의 오염 이나 망가질 가능성 을 극적 으로 감소 시킨다. 질소 및 산소와 같은 플라즈마 반응제 (plasma reactant gase) 는 조절기를 통해 속이 빈 음극 고리에 공급된다. 이어서, "플라즈마 '는" 에치' 와 "애싱 '과정 중 에 좁은 방 안 에 함유 되어 있어서" 에치' 나 "애싱 '이 매우 정확 한 방법 으로 이루어진다. PVA TEPLA 600-E의 최대 에칭 전력은 400W이며, 여러 전원 수준 (최대 6kV 바이어스) 에서 작동하여 매우 정확하고 제어 된 프로세스 조건을 제공합니다. 기계의 에칭 속도는 0.5 - 500mm/min 사이에서 조절 가능하며, 이는 정확한 에치가 달성됩니다. 600-E에는 온도 조절 도구 (temperature control tool) 가 장착되어 있어 에치 (etch) 또는 애싱 (ashing) 과정에서 온도를 유지하는 데 도움이 됩니다. 이 자산은 열 (heat) 에 민감한 제품이나 표본에 대한 손상이 없도록 합니다. PVA TEPLA 600-E에는 컴퓨터 자동 제어 모델이 내장되어 있습니다. 이 장비는 프로세스를 실시간으로 모니터링하고, 결과를 정확하게 보고할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스를 최적화할 때 더 빠른 학습 곡선 (Learning Curve) 이 가능해지며, 보다 우수하고 안정적인 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 600-E에는 자동 가스 제어 모듈 (automatic gas control module) 이 있으며, 이 모듈은 자동으로 가스 흐름을 조정하여 플라즈마 반응물의 정확한 가스 흐름을 보장합니다. 이 시스템은 에치 (etch) 또는 애싱 (ashing) 프로세스의 정확도를 향상시켜 최상의 결과를 보장합니다. 전반적으로, PVA TEPLA 600-E는 에칭 및 애싱 프로세스를 개선하도록 설계된 수많은 기능을 갖춘 신뢰할 수 있고, 정확하며, 사용자 친화적 인 에칭/애싱 장치입니다. 다양한 고급 기능, 정밀도 (precision) 및 공정 제어 (process control) 를 통해 에칭 또는 애싱 프로세스에서 정확한 결과를 요구하는 사람들에게 이상적인 선택이 가능합니다.
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