판매용 중고 PVA 650 #9400631

PVA 650은 마이크로 일렉트로닉 장치의 제조에 사용되는 Plasma etch의 에처/애셔입니다. 반도체 업계의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능, 기술적으로 진보된 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 650 은 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 로 만들어졌으며, 전체 작업 구역 에 균일 한 "플라즈마 에치 '나" 애셔' 를 공급 하도록 설계 되었다. 그것의 디자인은 수직 에칭 구멍 (최대 3mm 깊이) 과 Silicon, Silicon carbide 및 Gallium Nitride를 포함한 다양한 유형의 기판을 에치 할 수있는 기능을 허용합니다. 또한, 알루미늄, 구리, 티타늄과 같은 금속을 식각 할 수 있습니다. PVA 650은 10.4 "디스플레이, 직관적인 터치 스크린 작동을 통해 매우 쉽게 사용할 수 있습니다. 또한 12 "x 12" 작업 영역과 빠른 처리량을 위한 새로운 챔버 퍼지 시스템도 포함됩니다. 또한, 650은 효율적인 고주파 바이어스를 가지고 있으며, 이는 기판 표면에서 이온 에너지를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 최대 300 ° C 의 고온 처리 능력을 제공하여 가장 까다로운 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. PVA 650 (PVA 650) 은 탁월한 가동 시간을 통해 안정성이 높으며, 최고의 작업 상태를 보장하기 위해 안전 측정을 통해 설계되었습니다. 인력과 장비를 모두 보호하기 위해 다양한 연동 시스템이 마련되어 있습니다. 또한 프로세스 모니터링 (Automated Process Monitoring), 고급 레시피 (Advanced Recipe) 및 사용자 암호 보호 (User Password Protection) 기능을 통해 일상적인 운영 및 프로세스 제어를 원활하게 수행할 수 있습니다. 650은 다양한 장비로, 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 가능하게하며, 무접촉 포장, MEMS 제작, 마이크로 머치닝 등 다양한 분야에 적합합니다. 또한, 이 고급 시스템은 진정한 생산 및 연구 작업에 이상적이며, 높은 에치 속도, 정확한 플라즈마 제어 및 효율적인 반복 성을 제공합니다.