판매용 중고 PVA 650 #9374963

PVA 650은 고급 Silicon 및 GaAs 집적 회로의 제작을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 매우 다양한 기계로, 뛰어난 정확성과 반복성으로 여러 가지 에칭 (etched) 패턴을 만들 수 있습니다. 650은 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용하므로, 저압 공정을 통해 에치 레이트 대 너비 비율이 낮아 정밀도 에칭 작업에 이상적입니다. ICP 소스는 또한 더 높은 수준의 균일성과 재현성을 제공하여 반복 가능한 결과를 보장합니다. PVA 650은 매우 쉽게 사용 및 구성할 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 매우 직관적이므로, 운영자가 원하는 운영 매개변수를 쉽게 선택할 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 복잡한 에칭 조합을 위한 설계 파일 생성을 자동화하는 특수 소프트웨어 (예: 탐색하기 쉬운 메뉴, 보다 복잡한 에칭 작업을 위한 사전 프로그래밍 레시피) 가 포함되어 있습니다. 650은 300W 무선 주파수 발생기로 구동됩니다. 이것 은 "플라즈마 '" 에너지' 가 신속 하고 효율적 으로 전달 되므로 기계 가 "실리콘 '," 갈륨 비소' 등 여러 가지 물질 을 처리 할 수 있게 해 준다. 기계의 챔버는 241 리터의 내부 부피 (높이 305mm, 내부 직경 610mm) 를 가지고 있으며, 넓은 에치 면적을 허용합니다. PVA 650은 또한 모든 작동 구성 요소에 대한 자체 진단 검사를 제공합니다. 즉, 다운타임이 최소화되고 유지 보수가 덜 필요하므로 높은 안정성과 내구성을 보장합니다. 이 시스템은 또한 ESD 및 아크 방전으로부터 아노드 (anode) 및 챔버 (chamber) 보호, 과열 예방을위한 열 인식 장치, 과열 방지 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 650은 완전한 에칭 및 애싱 머신 (ashing machine) 으로, 정밀 에칭 작업에 필요한 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공합니다. 강력하고 직관적인 디자인은 모든 산업 에칭 프로세스에 이상적인 선택입니다.