판매용 중고 PVA 650 #9266554
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ID: 9266554
빈티지: 2008
Conformal coating machine
3-Axis gantry style robot work cell
Intended for dispensing / Application
Conformal coating / Liquids
(2) Dispensing heads
Work area: 18" x 18" x 4"
Repeatability: 0.001"
3-Axis servo motors
Silicone rubber application machine
Computer programming / Control
THK SKR33 Series precision XYZ linear motion
And modules with servo motors
THK HR20 Linear motion guides X and Y axes
Galil motion controller
Open-center edge belt conveyor, 43" (Side-to-side)
Pneumatic stops conveyor
SMEMA Conveyor communications
Compressed air
Computer hard drive missing
Power: 208 VAC, Single phase
2008 vintage.
PVA 650은 금속, 도자기 및 반도체를 포함한 광범위한 물질의 증착 및 에칭을 위해 설계된 고급 Reactive Ion Etch (RIE) 시스템입니다. 650은 고정밀도 정렬, 최고 500mm/초의 빠른 속도, 복잡한 형상에도 안정적인 결과를 제공하는 비용 효율적인, 고도로 자동화된 etcher/asher입니다. RIBE (State-of-Art Reactive Ion Beam Etching) 기술을 활용하여 제어 및 반복 가능한 에칭 및 증착 결과를 생성합니다. PVA 650 의 견고한 설계 는 외부 입자 "필터 '의 필요성 을 제거 해 주며, 잦은 유지 관리 나 정리 가 필요 없이 낮은 유지 보수 작업 을 한다. 하이엔드 자동화 기능을 통해 여러 방향으로 안정적이고 정확한 처리 (수직, 각도, 자체 정렬 작업 등) 를 수행할 수 있습니다. 650에는 혁신적인 터치 스크린 인터페이스 (touch-screen interface) 와 고급 소프트웨어 (advanced software) 알고리즘이 장착되어 있어 고급 기능으로 반복되는 정확성을 보장합니다. 고속 전축 동작은 에칭 및 증착 프로세스를 최대 정확도 0.01 m로 구동합니다. 또한 PVA 650에는 닫힌 루프 제어, 빈 주기/간격 주기, 대상 모양/치수 프로세스 모니터링, 차가운 벽/핫 월 효과 및 기판 온도 제어 (더 높은 품질의 증착 및 식각) 와 같은 고급 프로세스 제어 기능이 제공됩니다. 이 시스템은 스테인리스 스틸 (stainless steel), 알루미늄 (aluminum) 및 프레임 및 비품을위한 특수 캐스트 알루미늄으로 구성되어 뛰어난 내구성과 내식성을 제공합니다. 이 제품은 엄격한 안전 요건을 충족하고, 더 높은 수준의 사용자 안전을 제공하도록 설계되었습니다. 650은 석영, 유리, 감광 필름을 포함한 다양한 재료와 호환되며 6 인치 및 8 인치 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 에칭 (etching) 및 증착 결과 (deposition result) 에서 뛰어난 결정 특성과 미세, 복잡한 패턴을 제공하여 다양한 응용 분야를위한 최상위 시스템입니다.
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