판매용 중고 PVA 650 #293805825

PVA 650은 Paul V. Anderson이 제조 한 에처/애셔입니다. 이 장비는 웨이퍼 및 기판의 정밀 에칭/해시가 필요한 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 650은 반도체 장치 생산, 연구 개발, 테스트, 교정 및 생산 라인 프로세스 제어에 적합합니다. PVA 650은 에칭에 사용되는 챔버 1 개와 재싱에 사용되는 챔버 1 개가있는 2 개의 챔버 장비입니다. 에칭 챔버에는 0.75% Freon-CF ² -4 (CFC14) 및 99.25% Dry Nitrogen (N ²) 인 분당 9 입방 피트 (CFM) 의 에칭 가스가 장착 된 4 개의 쿼츠 쇼어 헤드가 장착되어 있습니다. 애싱 챔버에는 총 1 개의 CFM 질소와 2 개의 CFM 산소의 2 개의 쿼츠 쇼어 헤드가 장착되어 있습니다. 650의 온도 조절 시스템은 열 피드백 루프 (feedback loop) 를 특징으로하여 에칭/애싱 챔버의 고온 안정성을 보장합니다. PVA 650 장치는 또한 직관적인 사용자 제어 및 고급 열 보호 기능을 갖춘 첨단 PLC (programmable logic controller) 를 갖추고 있습니다. PLC를 사용하면 시간, 온도, 흐름 속도, 압력 등 etching/ashing 프로세스 매개변수를 제어할 수 있습니다. 또한 기본 제공 컴퓨터 모니터와 사용자 인터페이스 (User Interface for One-touch Control of the Tool and Manual Control of the Settings) 도 제공됩니다. 650의 건설은 견고하고 신뢰할 수 있으며, 주로 스테인리스 스틸과 테 플론으로 구성됩니다. 에칭/애싱 챔버는 고압 및 진공뿐만 아니라 PVA 650 ° 섭씨 (1202 ° 화씨) 까지 온도를 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 650에는 전원 공급 장치, 압력 트랜스듀서, 온도 트랜스듀서, 가스 흐름 제어 밸브, 1/4 "잠금 렌치 및 PVA-PVA 650 PLC 통합 컴퓨터 자산이 기본으로 제공됩니다. 650 은 여러 가지 필요 를 충족 시키도록 설계 되었으며, 여러 가지 반도체 장치 에서 정확 한 "에칭 '과 화학 증기 증착 을 제공 한다. 얇은 웨이퍼, 기판 및 기타 미세 구조를 처리하는 데 적합합니다. 이 신뢰할 수 있는 모델은 반복 가능한 프로세스, 뛰어난 에칭, 애싱, CVD 성능, 낮은 소유 비용, 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다.