판매용 중고 PVA 650 #293804897

PVA 650은 고밀도 마이크로 전자 제조 공정을 위해 설계된 PVA Systems, Inc.의 차세대 플라즈마 에치/애쉬 장비입니다. 그것 은 "에치 '처리 와 재 처리 를 할 수 있어서, 제어 된 정확도 로 기판 에서 금속, 중합체, 유전체 와 같은 물질 층 을 선택적 으로 제거 할 수 있다. 650은 강력한 소스 가스 전달 시스템 (source gas delivery system) 으로 프로세스 압력 및 에치/애쉬 속도를 완벽하게 제어하여 사용자가 원하는 정밀도를 얻을 수 있습니다. 에치/애쉬 (etch/ash) 장치에는 공압 작동 커버가 장착되어 있어 운영자가 수동으로 프로세스 매개변수를 조정하거나 다양한 테스트/분석을 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다. PVA 650은 극저온 테스트 및 실험에 적합한 선택이며, 높은 냉각 속도를 유지하면서 -100 ° C의 극저온 온도를 달성 할 수있는 통합 냉판 (cold plate) 을 제공합니다. 이 기계에는 통합 마이크로 프로세서, 최적화 에칭 프로그램, 프로세스 컨트롤러 (process controller) 와 같은 여러 고급 제어 기능 (예: 실시간 프로세스 판독 시간) 이 포함되어 있습니다. 컨트롤러를 사용하면 가스 구성, 압력, 에치/애쉬 속도 (etch/ash rate) 등의 프로세스 조건을 조정하여 각 프로세스에 대한 고정밀 결과를 확인할 수 있습니다. 650은 탁월한 프로세스 신뢰성과 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 자동 압력 및 진공 제어를 사용하면 전체 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 조정할 수 있으며, 성공적인 에칭 및 애싱 (ashing) 에 중요한 모든 매개변수를 모니터링하고 유지합니다. 게다가, 공구에는 최첨단 안전 기능 (State-of-the-art Safety Feature) 이 장착되어 있어 자산의 온도가 허용 가능한 수준 이상으로 올라가면 기판 또는 부품에 대한 손상 위험을 없앨 수 있습니다. 전반적으로 PVA 650은 금속, 고분자 및 유전체의 고정밀 에칭 및 재 처리를 위해 설계된 고급 에치/애쉬 모델입니다. 통합된 고급 제어 기능 (Advanced Control Features) 과 탁월한 프로세스 안정성을 통해, 650은 사용자에게 최고의 성능과 정확도를 달성할 수 있는 기능을 제공합니다.