판매용 중고 PVA 650 #293804887

PVA 650은 photolithographic 및 sample 준비 응용 프로그램에 사용되는 etcher/asher입니다. 실리콘, 갈륨-비소와 같은 반도체 재료의 이방성 에칭을 위해 특별히 설계된 전기 구동, 완전 자동화 장비입니다. 650 시스템은 뛰어난 균일성과 반복성으로 빠르고 정확한 웨이퍼 에칭과 다이를 제공합니다. PVA 650은 에치 레이트 (etch-rate) 와 샘플을 최소화하면서 제어 가능한 프로파일을 생성하는 에칭을 위해 액티브 바이어스 (active-bias) 강화 플라즈마 기술을 사용합니다. 그것은 샘플의 균일 한 난방과 냉각을 가능하게하는 석영 공정 챔버 (quartz process chamber) 를 특징으로합니다. 로드 잠금 장치 (load-lock unit) 를 설치하여 샘플을 프로세스 챔버로 가져올 수도 있습니다. 컨트롤러는 필요에 따라 자동으로 매개 변수 (예: 온도, 압력, 흐름 및 기타 프로세스 매개 변수) 를 조정합니다. 또한 650 에는 웨이퍼 (wafer) 처리를 자동화할 수 있는 고급 소프트웨어가 포함되어 있으며, 다른 시스템과의 통합 및 상호 연결이 가능합니다. 또한 프로세스 제어, 레시피 관리, 모니터링, 데이터 취득 및 보고 기능도 제공합니다. 사용자는 소프트웨어를 사용하여 프로세스 기록을 추적하고 사용법에 따라 레시피 (레시피) 를 수정할 수도 있습니다. 전반적으로, PVA 650은 에칭 및 샘플 준비 어플리케이션을 위해 높은 처리량, 뛰어난 성능, 향상된 생산성을 제공합니다. 이 제품은 강력하고 유연한 머신으로, 최소한의 유지 보수로 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 와 자동화 (automation) 기능을 통해 연구 및 산업 환경에 모두 적합합니다.