판매용 중고 PVA 650 #293804324

PVA 650은 고정밀 RF (radio-frequency) 전원 기술의 글로벌 리더 인 Plasma-Therm이 개발 한 에처/애셔입니다. 다양한 기판 재료를 위해 설계되었습니다. 650은 단일 다이 (single die) 에서 전체 웨이퍼 (full wafer) 에 이르는 다양한 기판에 가장 적합하며 FEOL (front-end-of-line) 및 BEOL (back-end-of-line) 프로세스에 최적화되었습니다. PVA 650은 중간 크기의 마이크로 에치 장비이며, 챔버는 51.2 인치 x 51.2 인치 x 43 인치 (LxWxH) 입니다. 고급 진공 시스템, 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 및 세라믹 재료로 만든 챔버 (Chamber) 및 내장 터치 스크린 컨트롤은 다양한 에칭 및 애싱 어플리케이션에 최적의 선택입니다. 이 장치의 일반적인 기본 압력 등급은 6 x 10-7 Torr이며, 이 기술을 통해 높은 공정 온도 (최대 540 ° C) 를 유지할 수 있습니다. 650은 유도 결합 무선 주파수 (inducively coupled radio-frequency) 기술을 사용하여 고도로 통제되고 효율적인 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 플라즈마 환경을 생성합니다. 핫 음극 및 "콜드 (cold)" 질량 흐름 컨트롤러를 사용하여 플라즈마 및 에치 가스를 정확하게 제어합니다. PVA 650 은 또한 양극성 전원 공급 장치 (bipolar power supply unit) 를 장착하여, 응용프로그램 에칭을 돕기 위해 독립적 인 양수/음수 전원 수준을 만들 수 있습니다. 고급 기능인 650 은 탁월한 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공합니다. 이 기계의 프로그래밍 가능한 쇼 헤드 (showerhead) 를 사용하여 복잡한 기판을 완벽하게 적용 할 수 있습니다. 회전 전극은 에치 레이트의 정확한 일치를 위해 무선 주파수 전기장과 펄스 전력을 조정합니다. PVA 650은 또한 자동 리필 (auto-repill) 을 통해 최소 연산자 상호 작용을 가능하게하며, 필요한 프로세스 유형에 따라 30 초에서 몇 시간 사이의 주기 시간 (cycle time) 으로 확장 실행에 중단되지 않은 에칭 및 애싱 작업을 제공합니다. 650은 장기 운영 및 성능을 위해 제작되었습니다. 이 도구는 단단한 차원의 안정성을 위해 설계되었으며 질소 제거 자산, 고급 잠금 장치 (advanced lock) 및 작동 자 안전을위한 빠른 오프닝 챔버 해치 (quick-opening chamber hatch) 와 같은 새로운 안전 기능을 사용합니다. 전반적으로, PVA 650은 다양한 에칭 및 애싱 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 고급 기능, 견고한 기술, 프로세스 반복성 (repeatability) 을 통해 프로세스 제어가 정확하고 장기적인 안정성을 필요로 하는 고객에게 이상적인 선택이 됩니다.