판매용 중고 PVA 350 #9198731

PVA 350은 높은 처리량을 위해 설계된 에칭 및 애싱 장비입니다. 그것 은 "반도체 '산업 에서 이러 한 장치 를 제조 하는 과정 에서" 웨이퍼' 에서 유기물 과 오염 물질 "필름 '을 제거 하는 데 사용 된다. 350 시스템은 ICP (Inductively Coupled Plasma) 를 사용하여 처리 중인 웨이퍼 표면에서 물질과 상호 작용하고 제거 한 원자 입자를 생성합니다. 이 ICP 기술은 사용 가능한 가장 정확하고 정확한 에칭/애싱 프로세스 중 하나이며, 높은 수준의 정확성, 반복성 및 균일성을 제공합니다. PVA 350 장치에는 특히 사용자 친화적인 여러 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 자동 경로, 정확한 웨이퍼 인식을위한 디지털 OCR, ICP 기계의 정확한 전원 제어, 정교한 진공 제어 도구, 안정적이고 견고한 제어 자산이 포함됩니다. 350 개 는 "웨이퍼 '표면 에서 여러 개 의" 앵스트롬' 깊이 까지 재질 을 에칭 하여 "웨이퍼 '제조 에 이상적 인 도구 가 될 수 있다. 또한 고해상도 이미지를 생성할 수 있어 도량형 (metrology) 과 검사 (inspection) 용도로 탁월한 선택입니다. 이 모델은 8 인치 및 12 인치 웨이퍼를 모두 수용 할 수 있으며, 다양한 기존 시스템과 통합 할 수 있습니다. 또한 챔버 클리닝 (chamber cleaning) 및 원격 진단 기능을 제공하여 유지 관리 및 작동이 용이합니다. 전반적으로 PVA 350은 신뢰할 수 있고 다양한 에칭 및 애싱 장비입니다. ICP 기술은 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 반면, 사용자 친화적 인 기능은 매우 사용하기 쉽습니다. 모든 반도체 제작 응용 프로그램의 경우 350은 훌륭한 선택입니다.