판매용 중고 PVA 350 #9032147

PVA 350은 최대 350mm 기판 크기의 수동화 (Passivation), 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위해 설계된 고급 고출력 에처/애셔입니다. 견고하고 확장 가능한 장비 설계를 통해 업계 최고의 공정 (process) 기능을 제공하며, 다양한 에칭 화학이 가능합니다. 이 시스템에는 고급 기능과 최신 프로세스 제어 (process control) 기능이 장착되어 있어, 제작자가 뛰어난 반복성과 신뢰성을 통해 복잡한 공구 주기를 조정할 수 있습니다. 350 개 는 "에칭 '공정 을 위한 거대 한 약실 을 포함 하고 있으며," 리프트' 식 해치 '를 갖추고 있어 효율적 인 기판 처리 를 할 수 있다. 모듈 식 디자인을 사용하여이 장치는 셰이커 (shaker), 스핀 에처 (spin etcher), 화학 목욕 (chemical bath) 및 플라즈마 애셔 (plasma asher) 및 단면 및 양면 프로세스를 포함한 여러 에칭 도구를 통합 할 수 있습니다. 공정 주기, 도구 향상, 기타 기능 업그레이드를 사용자가 직접 구성할 수 있도록 구성할 수도 있습니다 (영문). 이 기계는 또한 안전한 인클로저 (interlock), 환기 케이스 (ventilated enclosure) 및 자동 안전 차단 시스템을 통해 사용자 안전을 고려하여 설계되었습니다. 또한, 사용자 친화적 인 터치 스크린은 온도, 시간, 공구 회전 속도 등 프로세스 매개변수를 프로그래밍 가능한 제어하여 정확하고 반복 가능한 에칭 사이클 (etching cycle) 을 보장합니다. PVA 350 은 고급 패키지, MEMS, 옵토일렉트로닉스 (optoelectronics) 업계에서 다양한 맞춤형 애플리케이션을 위한 고품질 에칭 솔루션을 제공합니다.