중고 PSM (에처/애셔) 판매용
PSM에서 제조 한 Etcher/ashers는 플라즈마 에칭 공정에 반도체 산업에서 사용되는 다재다능하고 효율적인 도구입니다. 이 에처/애셔 (etchers/ashers) 는 반도체 웨이퍼 또는 기타 기판에서 재료를 제거하여 원하는 패턴과 구조를 만들도록 설계되었습니다. PSM etcher/ashers의 주요 장점 중 하나는 정확하고 균일 한 에칭 결과를 제공하는 능력입니다. 이것은 고급 프로세스 제어 (process control) 기술을 통해 이루어지며, 이는 에칭 매개변수가 프로세스 전체에서 정확하게 제어되고 유지되도록 보장합니다. PSM 에처/애셔는 또한 우수한 에치 선택성을 제공하여 고해상도 패턴화를 허용합니다. PSM은 반도체 제조업체의 구체적인 요구를 충족하기 위해 다양한 챔버 크기와 구성을 가진 다양한 에처 (etcher )/애셔 (asher) 모델을 제공합니다. Plasma 모듈은 eching 프로세스에 plasma 기술을 사용하는 PSM etcher/asher의 예입니다. Plasma 모듈은 빠르고 효율적인 에칭을 제공하여 종횡비가 높고 균일성이 뛰어납니다. 또 다른 예는 에칭 및 증착 기능을 결합한 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 모듈입니다. 이 모듈은 박막 (thin film) 을 증착하는 동시에 기판을 에칭하여 유전체 (dielectric) 및 금속층 증착 (metal layer deposition) 과 같은 응용 분야에 적합합니다. 전반적으로 PSM 에처/애셔 (etcher/ashers) 는 플라즈마 에칭 프로세스에 대한 안정적이고 정확한 도구를 반도체 제조업체에 제공하며, 프로세스 제어, 선택성 및 다양성 측면에서 이점을 제공합니다.