판매용 중고 PSK TERA 21S #9241274

PSK TERA 21S는 PSK Technologies에서 제조 한 최첨단 에처/애셔입니다. 고급 웨이퍼 및 이산화규소 (silicon dioxide) 및 폴리 이마이드 (polyimide) 와 같은 다른 얇은 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 특히 최첨단 반도체 제작, MEMS 및 마이크로 시스템과 관련된 응용 분야에 적합합니다. 이 장비는 다양한 자동화 시스템에 쉽게 통합 할 수있는 PLC (Programmable Logic Controller) 인터페이스를 갖추고 있습니다. TERA 21S는 200mm 및 300mm 웨이퍼 치수에서 생산 수준 기판 처리를 위해 설계되었습니다. 기판 전체에 에치/애쉬 (etch/ash) 를 균등하게 분배하기 위해 엇갈린 단계의 선형 스캔을 사용합니다. 자동 사전 정렬기를 사용하면 모든 배치에 대해 위치 및 방향을 반복적으로 정렬할 수 있습니다. 다중 주석 비 접촉, 비 가스 플라즈마 소스는 웨이퍼 전체에 균일 한 에치/애쉬 증착 조건을 제공합니다. 이 시스템에는 신뢰할 수있는 전기 특성이 유지되도록 5 단계 순차 차단 장치 (sequential shoff unit) 도 장착되어 있습니다. PSK TERA 21S는 연속 배치 처리 시나리오에 사용하기에 적합합니다. 조정 가능한 공정 속도, 염소가없는 NF 화학 및 PAW (Plasma Arc Welding) 기능과 같은 여러 기능이 있습니다. 또한 프로세스 매개 변수를 실시간으로 조정할 수 있는 온라인 측정 기능이 있습니다. 이를 통해 기계를 빠르고 쉽게 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 테라 21S (TERA 21S) 는 또한 빠르고 정확한 기판 로딩 및 언로드를 위해 설계된 높은 처리량 처리 로봇을 포함합니다. 이 로봇에는 패턴 인식 기반 동작 도구가 있어, 시간을 절약하고 오류를 줄입니다. 로봇에는 또한 활성 금속 이온 필터가 있으며, 이는 고품질 에치/애쉬 결과를 보장합니다. 에셋의 온도 범위는 -20 ~ + 250 ° C입니다. PSK TERA 21S는 ISO-9002 및 SANTON 인증과 완벽하게 호환되므로 높은 품질의 에치/애쉬 결과를 얻을 수 있습니다. 빠른 런타임, 구성 가능한 프로그래머블 로직, 자동 사전 정렬기, 멀티 틴 비 접촉, 비 가스 플라즈마 소스로, 이 모델은 웨이퍼 및 기타 얇은 재료의 고정밀 에칭/재싱에 이상적인 선택입니다.