판매용 중고 PSK TERA 21 #9351451

PSK TERA 21은 산업 및 실험실 응용 분야를 위해 설계된 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 다양한 사용자 (user) 요구 사항을 충족하도록 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. TERA 21에는 최대 1200 ° C의 온도를 제어 할 수있는 2 개의 석영 할로겐 광원이 장착 된 대형 챔버가 있습니다. 챔버 도어에는 1 개의 쿼츠 할로겐 램프가 수평으로 배치되어 챔버 내에 임시 균일성 (temeprature unifority) 을 생성합니다. 이 장치는 또한 전체 챔버 전체에서 균질 한 에칭을 보장하는 완전 자동화 된 커버리지 균일 성 메커니즘을 가지고 있습니다. PSK TERA 21은 사용자 친화적이고 프로그래밍 가능하도록 설계되었습니다. 사전 정의된 Set Point에 액세스할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스와 사용자 정의 레시피 (Custom Recipe) 를 생성할 수 있는 기능이 있습니다. 이 기계는 또한 처리 온도, 압력, 기타 환경 조건과 같은 다양한 매개 변수를 갖춘 실시간 모니터링 (real-time monitoring) 기능을 가지고 있습니다. 이 도구에는 통합 쿼츠 웨이퍼 보트 (quartz wafer boat) 가 있어 웨이퍼를 쉽게 적재 및 언로드할 수 있습니다. 또한 TERA 21은 로드 락 (load lock) 설계를 통해 프로세스 완료에 소요되는 비용과 시간을 줄일 수 있습니다. 챔버 (chamber) 는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 챔버의 내부 및 외부에서 균일 한 온도를 제공합니다. 자산은 단일 원자로 (single reactor) 및 다중 원자로 (multiple reactor) 구성을 모두 지원하므로 서로 다른 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있습니다. PSK TERA 21은 또한 폐쇄 루프 물 재순환 시스템 및 공기 압축기와 같은 추가 액세서리를 연결할 수 있습니다. TERA 21은 산업 및 실험실 응용을위한 이상적인 에칭 및 애싱 모델입니다. 사용자 친화적이며 정확하고 안정적인 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 장비의 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 자동화된 기능 (automated feature) 은 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 적합합니다.