판매용 중고 PSK TERA 21 #9259689
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ID: 9259689
Asher, 12"
(2) Chambers
EFEM
Transfer Module (TM)
Process Module (PM)
AC Rack
Cables
2004 vintage.
PSK TERA 21은 시장에서 가장 발전된 에처/재 중 하나입니다. 미세 (fine) 및 초미세 (ultra-fine) 기능 개발을 위한 화학적 에칭 및 애싱 (ashing) 공정을 위한 혁신적인 솔루션입니다. 이 장비는 작은 설치 공간을 사용하여 많은 볼륨을 생산할 수 있습니다. 테라 21 (TERA 21) 은 높은 열 안정성, 고속 에칭 (eching), 재싱 (ashing) 과 같은 다양한 적응 가능한 공정 개선 기능을 갖추고 있으며, 정확한 압력 및 온도 제어를 통해 빠른 주기와 반복 가능한 결과를 얻을 수있는 안정적인 방법을 제공합니다. 이 시스템은 스트레스가없는 진공 오븐 챔버 디자인과 멀티 존 온도 제어 (multi-zone temperature control) 를 특징으로하며, 정밀하고 정확하게 재료를 에치 및 분해할 수 있습니다. 안정적이고 효율적인 에칭을 위해 모든 설정, 매개변수, 레시피, 프로세스를 몇 분 안에 보존, 재사용할 수 있습니다. 이 장치는 비활성 가스 백필링 (inert gas backfilling) 과 고온을 사용하여 에칭 된 표면의 산화 및 오염을 방지합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 특수 가스 세탁기를 사용하여 심하게 산화 된 입자가 히터 챔버에서 나가는 것을 방지합니다. PSK TERA 21은 오늘날의 복잡한 마이크로 사이즈 IC를 처리하는 데 중요한 초미세 선택성을 제공합니다. 고온 합금, TiN/TiWN, Au/Ti, Al/Ti 및 기타 귀중한 금속을 포함한 다양한 재료를 지원합니다. 고온에서 작동 할 수있는 능력으로 고가로 비율, 깊이 및/또는 좁은 구조 및 복잡한 3D 미세 구조를 처리 할 수 있습니다. 이 도구에는 임베디드 컨트롤러, 운영 소프트웨어, 타이머가 포함되어 있어 에칭 프로세스를 완전히 자동화할 수 있습니다. 이 자산은 운영 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 데이터 전송 모니터링 및 프로세스 (process data transfer) 를 위해 네트워크에 연결할 수 있습니다. 테라 21 (TERA 21) 은 고주기의 반복 가능한 결과를 낼 수 있으며, 연구 및 생산에 이상적인 선택으로, 미세 및 초미세 기능의 성공적인 개발을 위해 최대의 에칭 기능과 정밀도를 제공합니다.
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