판매용 중고 PSK TERA 21 #9244821

PSK TERA 21은 연구 및 개발 프로젝트를위한 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계된 etcher/asher입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 대기 압력 플라즈마 기술을 사용하여 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하여 고품질 결과를 생성합니다. 이 장치는 2 개의 광역 가스 시스템을 사용합니다. 하나는 에칭하고 하나는 재싱입니다. 냉판 냉각 장비 (옵션) 가 특징이며, 가스의 온도 및 압력, 에칭/애쉬 표면의 온도 등을 정확하게 제어 할 수 있습니다. TERA 21은 자기 차폐 작동 챔버가있는 대형 기판 보유 챔버를 갖추고 있으며, 최소 오염으로 고해상도 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 허용합니다. 챔버 내부는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 과 세라믹 코팅 알루미늄 (ceramic-coated aluminum) 으로 구성되어 있어 유지 보수가 쉽고 열 효율이 높습니다. 가스 공급 시스템 (Gas Supply System) 은 가열된 전송 라인이 장착 된 대량 흐름 컨트롤러 (Mass-Flow Controller) 를 갖추고 있어 프로세스에 사용되는 가스를 정확하게 제어합니다. PSK TERA 21에 등장하는 프로세스 제어 장치는 고급 PLC 기술을 기반으로하며, 특정 에칭/애싱 매개변수의 설정 및 저장을 허용합니다. 인터페이스 근처에 있는 제어 노브 (control knobs) 를 사용하여 지정된 프로세스에 필요한 매개변수로 다이얼할 수 있습니다. 동일한 제어 기계를 사용하여 옵션 냉각 도구를 제어합니다. 에칭/애싱 표면의 온도는 냉각판을 통해 조절됩니다. 이 장치에는 여러 가지 안전 기능 (예: 챔버 개방 시 자동 차단 (automatic-off) 및 비상 정지 (emergency stop) 버튼) 이 있습니다. "가스 '의 공급 자산 은 또한 별도 의 방 에 놓여 있으며, 그 장치 를 어떠 한 위험 이든지 격리 시킨다. TERA 21은 편리함과 사용자 친화력을 염두에 두고 설계되었습니다. 모든 컴포넌트는 모듈식이며, 도구가 필요 없이 쉽게 교체할 수 있습니다. 또한, 디스플레이 패널에는 다국어 (Multilingual) 메뉴가 있으며, 모든 국가 배경의 연산자가 제어 모델에 빠르게 익숙해집니다. 마지막으로, 이 장치는 표준 압축 가스 공급 시스템에 연결할 수 있습니다.